図1　SiTimeのMEMS振動子の売�幢Yと出荷数量の�Pび　出�Z：SiTime

Boschからスピンオフ、SiTimeとして独立して以来、MEMS振動子によるタイミングチップ�k筋にビジネスを育んできた。��(k┫)直に深く�k様にエッチングする「Boschプロセス」（エッチングとデポジションを交互に行いながら��(k┫)直にシリコンを削っていく��(sh┫)法）をはじめとして100�P以�屬�����として�eつ。今や1万社の顧客に15億個のMEMS発振�_(d│)を出荷するまでに成長した。成長のきっかけは、メガチップスの�A収による。それ以来、2018�QまでにCAGR45%という驚異的な��成長を�~げてきた。メガチップスにとっては「良い�Aい�顱廚里��}本となった。

さらに成長を加�]するため、モバイルによく使われてきたモバイルTCXO（Temperature Compensated Oscillator）やインフラストラクチャTCXOをさらに�Pばそうとしている。狙いは、これまで出荷しているハイエンドのOCXO（Oven Controlled Oscillator）並みのTCXOだ。ちなみに周�S数�W定度はモバイルTCXOが0.5〜2.5ppm、インフラTCXOは0.1〜0.28ppm、OCXOが0.001〜0.05ppm（1ppb〜50ppb）とハイエンドになればなるほど�W定性は�\す反�C、価格も高い。最高級����を普及価格帯で提供しようという�lだ。

図2　SiTimeが提供しているさまざまなレベルのMEMS共振�_(d│)とタイミング����　出�Z：SiTime

SiTimeの��(d┛ng)みは、MEMSを作ることだけではない。��電気によって作り出した機械的な共振振動を�W定に、しかも分周や倍周とそれの組み合わせによって周�S数を変えることができるPLL�v路、�a(b┳)度��償�v路などのミクストシグナル�v路、さらにパッケージング�\術も�eつ。タイミング����はこれらの組み合わせで、クロック信��(gu┤)を�擇濬个后�つまりミクストシグナル�\術も�△┐討い襦�

基本的にMEMS振動子そのものは��電気による微小な機械的な振動を発�擇気擦襪�、CVD成長させたポリシリコンのキャップを被せて、振動する�霾�を中空で封�Vしているため、モールドプロセスが使える。また、CMOSコントローラには�a(b┳)度��償や1/N分周可�Δ�PLL�v路だけではなく、不ｧ発性メモリも内�鼎靴討い襪燭瓠�発振周�S数を変えられるというメリットもある。ユーザーが周�S数を変えることもできる。パッケージング（図3）では、リードフレーム�屬�CMOSチップをアセンブリした後、そのCMOS ICの�屬�MEMS振動子を載せ、ボンディングした後にモールドする。ごく�k般的なパッケージング�\術であり、どこでも���]可�Δ淵▲札鵐屮蠅任△襦�このため、パッケージングをアジアに�eっていける。

図3　MEMS発振�_(d│)の基本的なパッケージ�\術　出�Z：SiTime

SiTimeのMEMS発振�_(d│)は、ありとあらゆるデジタル����に入り込んでいる。タイミングサーバーや、ﾅ星ブロードバンド、100G/400Gbpsスイッチ、4G/5G通信インフラ機�_(d│)、ルータ、スイッチなどのインフラ機�_(d│)をはじめ、スマホやスマートウォッチ、M2M、アセットトラッキング、スマート��機などのIoT機�_(d│)、クルマではADASやイメージセンサ、レーダー、ライダー、高�@度GNSS、�Z載イーサネット、タイヤの空気圧を監��するTPMS、ロボットやスマートメーター、�豢�機、医��、鉄�O、サーベイランスなどの工業��機�_(d│)、AR/VRやデジカメ、家電、AV機�_(d│)、スマートホームなど�c�攀×_(d│)などでも使われる。

SiTimeは加えて、クロック機�Δ�ハッキングされてタイミングを変えられた場合のサイバー��撃に�△┐董���撃を検出してシステムを�Vめるという機�Α�TrustBeat」�\術を開発した。TrustBeat機�Δ鯏觝椶靴�MEMS発振�_(d│)は、MEMSチップにASICを1パッケージに搭載したもので、IoT時代にセキュリティの�kつとして提案した。例えば、もしスマートスピーカーがハッキングされると、盗聴�_(d│)に変わってしまう。そこで、ハッキングを検出したらシステムを�Vめてしまえば、少なくとも盗聴を防げる。

TrustBeatはどのようにハッカーの侵入を検出できるのか。IoTデバイス(エッジ)では、MCU(マイコン)でデバイス����を�U(ku┛)御しているが、MCUには時刻の�Y��となるクロックが含まれている。TrustBeatもまた時刻を刻むクロック発�昊_(d│)であるが、単にクロックを発�擇垢襪世韻任呂覆�、ASICにクロックのログ（何時何分にどんなイベントがあったという記�{）を記�{しておく。このログ情報はMCUから暗��(gu┤)化されてクラウドに送られ、IoTのデータと共にクラウドで保�T・管理されている。クラウドでは、TrustBeatとMCUとの間に通信が��しく行われていることを常にチェックする。

この�X��で、システムがハッキングされ異常な動作を始めると、クラウド�笋妊魯奪�ングされたことを、MCUを通してTrustBeatに伝え、TrustBeatがクロック動作を�Vめる。クロックを�Vめることで、システムを�Vめることができる。

TrustBeatはIoTへの応��を狙ったものであり、�a(b┳)度�W定性はppmレベルだとしている。現在、ICを作成、サンプル出荷中で、来春にはデモできるように進めている。