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シンガポールIMEが新FOWLP\術を開発、コンソーシアム会^に供与

シンガポールの研|開発機関であるA*STARのInstitute of Microelectronics (IME)は、FOWLPの開発ラインを構築、同研|所が組EするFOWLP Development Line Consortiumのメンバーに開発ラインを供与すると発表した。FOWLPは、モールドファーストとRDLファーストの二つの\術をTした。

FOWLP(Fan Out Wafer Level Packaging)\術は、iPhone 7から使われてきた\術で、HピンのWLPパッケージを作るための\術で、TSMCはINFOという@称で攵している。少ピンパッケージの場合は、通常のWLP(ファンインWLPともいう)で設できる。

モールドファーストは、半導業cでこれまで使われてきた来桔,任△襪、これと比べて、開発したRDL(Redistribution Layer:再配線層)ファースト法は極めて高い信頼性がuられる桔,世箸いΑコンソーシアムに参加しているパートナー企業と共にIMEは、次世代のFOWLP\術の]とプロセスを共同で開発していく画だ。

この次世代FOWLP\術には、銅ピラーのメッキ\術、PVDプロセスなどを含み、ウェーハの反りを抑え、チップ-オン-ウェーハ向けのモールド可Δ淵▲鵐澄璽侫ル\術をU御し、TSVなどで貭召貌璽瓮奪配線や、ピラーをeつウェーハをモールドするとしている。この場合にウェーハレベルのコンプレッションモールドや小さなビアの現技頂垢離廛薀坤渊去、反り調Dなどの\術を使うという。

FOWLP\術の可性をi進させ採を加]するため、IMEが構成するコンソーシアムには、OSAT(Outsource Assembly and Test)や材料メーカー、メーカー、EDAベンダー、ファブレスパートナーなどを含んでいる。コンソーシアムのメンバーは、オープンイノベーションプラットフォーム屬離螢宗璽垢魘~でき、複雑なシステムのスケーリングとヘテロジニアスなシステムの集積を実現するため、IMEのl富な先端パッケージング\術をWできるようになる。

FOWLP開発ラインはj}OSATで使われているJTの設△するため、IMEで開発されたプロセスや材料、集積化フローをメンバーQ社はスムーズに‥召任る。この開発ラインを使ってファブレス半導メーカーはパッケージ構]や集積化フロー、プロセス、材料やをO社の攵に素早くめることができるようになる。

なお、このFOWLP開発ラインコンソーシアムに参加している会^企業には、Applied Materials、Inc、旭化成、Dipsol Chemicals Co. Ltd、ERS Electonic GmbH、富士フイルム、JSR、Kingyoup Optronics、Kulicke & Soffa、Nordson Corp、Open-Silicon、Orbotech Ltd、STAT ChipPAC Pte Ltd、東邦化成、TOWAを含み、日本企業が14社中5社もいる。

(2017/11/10)
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