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AMATも東Bエレクトロンも絶好調

Applied Materialsが半導景気の好調をpけ、2017Q度3四半期(5~7月)の売幢Yは、創立以来、最高Yの37億4000万ドルを記{したと発表した。iQ同期比33%\であり、これで5期連\収ということになり、ずっと肩屬りの成長をけている。

営業W益率も好調で27.3%とiQ同期よりも6.2%ポイント\えた。売り屬欧瞭癲半導]の売り屬欧の68%とやはりjきいが、スペアパーツや保守点検サービス,200mmウェーハなどのサービス靆隋AGS)も21%と比較的jきく、ディスプレイや周辺などのx場は11%にとどまる。


図1 アプライド マテリアルズ ジャパン代表D締役社長の中_均

図1 アプライド マテリアルズ ジャパン代表D締役社長の中_均


同社日本法人アプライド マテリアルズ ジャパンの代表D締役社長は2017Q1月に任した中_均(図1)。同は、x場の見通しを1990Q代から2010Qまでの「PC+インターネット時代」から2020Qくらいまでの「モバイル+ソーシャルメディア時代」を経て、2020Q以Tの「AI(人工Α法椒咼献絅▲襯灰鵐團紂璽謄ング時代」を迎えると定Iした。PC+インターネット時代は、i工のx場は255億ドルであったが、そのバラつき「シグマ」は、80億ドルもあったとした。それ以T、すなわちリーマンショック後のモバイル+ソーシャルメディア時代は、売り屬324億ドルに瓦靴謄丱蕕弔が30億ドルに下がっている。これからのAI+ビジュアルコンピューティング時代には売り屬欧呂發辰隼\えながらバラつきが30億ドルよりも小さくなるとみる。すなわち半導]ビジネスはW定成長の時代に入る。

当ながら、半導は今、好況期である。アプライドのライバルであり、かつて合作業を進めていた東Bエレクトロンも絶好調で、2017Q度の1四半期(4~6月)の売り屬欧iQ同期比60%\の2363億、営業W益は同148%\547億となった。営業W益率は同8.3%ポイント\の23.2%となっている。


図2 ウェーハi工の内、メモリ向けが毎Q\えている

図2 ウェーハi工の内、メモリ向けが毎Q\えている


]の今の好調をけん引するのはやはりメモリで、例えば2012Qごろのi工は303億ドルの内NAND向けが9%、DRAM向けは14%しかなかった。図2のように2017Qは、NAND向けが30~35%、DRAM向けが15~20%という構成になるとみている。IoT時代にクラウドへ蓄積するメモリは不ァ発性が求められるため、NANDフラッシュの要はまだfが見えない。中_は、DRAM向けはまだ直線的なPびをすが、NANDフラッシュ向けは指数関数的なPびをしているという。

NANDフラッシュはこれまでのプレーナから3次元(3D)化へと進んでいる。1チップ内に32層、48層、64層などセルをeに積んでいく構]のメモリでは、最下層から最崛悗泙任凌爾ぅ┘奪船鵐阿氾填砲鮴橙するピラーが要になる(図3)。そのためのエッチングとCVDは新開発になる。


図3 3D-NANDフラッシュは深い最下層から表Cまで電極をDり出す要がある

図3 3D-NANDフラッシュは深い最下層から表Cまで電極をDり出す要がある


3D-NANDフラッシュのH層構]の構成\術には、単純に_ねるモアペア(More Pairs)法、いくつかの層をまとめて_ね合わせるマルチティア(Multi-tiers)法、e妓スケーリング、横妓スケーリングなどの桔,ある。どの桔,任眥_ねてから電極をDり出すための階段Xのスティアケースを作り、さらに貭召凡k気に穴を開けて、導をmめ込む。こういったk連のプロセスは均k性、すなわちウェーハ内のバラつきやウェーハ間のバラつきをらすことが歩里泙蠅屬欧襪Δ┐悩罵ダ茲箸覆襦

アプライドの中_は、そのために2015Qに発売したエッチング「Centris Sym3」がカギとなると言う。このはCD(クリティカルディメンション)の均k性が0.5nm以下という優れモノ。@のSymはシンメトリック(款寮)のSで、来のだとバラつき「シグマ」が1.2%だったが、Sym3は0.2%とjきく少した。内のガスの流れ、ポンプの位、X流をすべて款里砲靴燭海箸如△修譴召譴離丱蕕弔をらした。プラズマを発擇気擦RFマッチングv路とは別にO己バイアスでコンデンサをマイナスに充電してプラスイオンを引き込むためのRFマッチングv路を新に開発した。

このの基本構成は8チャンバ(6のエッチャー+2の`)で、発売以来は\えけ、チャンバ数で表すと2017Qには4桁のチャンバ数が売れると見込んでいる。また、AMATとして式な見通しの数Cは発表しないが、次の四半期は元々PびるというI要因を含むが、個人的には40億ドルには到達するだろうと中_は見ている。2018Qには中国の投@がjきくなり、]のビジネスチャンスは広がっている。

(2017/08/29)


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