NY劍SUNYとGlobalFoundries、EUVを鼎票倡券、5帛ドル抨獲で凋爬肋彌
勢柜における黎眉染瞥攣倡券の凋爬の辦つ、SUNY Polytechnic InstituteとGlobalFoundriesは、EUVリソグラフィの翁緩步に羹けて5鉗粗で5帛ドルのプログラムを夸渴すると鼎票券山した。このプログラムではIBMや澎疊エレクトロンなど染瞥攣メ〖カ〖、劉彌ˇ亨瘟メ〖カ〖のネットワ〖クを呵絡嘎に網脫、倡券センタ〖を肋惟する。
哭1 NY劍アルバニ〖にEUV倡券センタ〖を糠肋 繼靠はCNSEの辦嬸 叫諾¨SUNY Poly CNSE
これは勢ニュ〖ヨ〖ク劍のアンドリュ〖ˇクオモ夢禍のサポ〖トを減け、ニュ〖ヨ〖ク劍をナノテク甫墊倡券のリ〖ダ〖とする活みの辦茨としてのプロジェクトでもある。糠肋する甫墊疥の嘆漣は、Advanced Patterning and Productivity Center∈APPC¨黎眉パタ〖ニングˇ欄緩センタ〖∷で、ニュ〖ヨ〖ク劍アルバニ〖のCNSE∈ナノスケ〖ル彩池禱窖池嬸∷に肋彌する。
10nm踏塔の腮嘿パタ〖ンではさすがにトリプルパタ〖ニングになると欄緩拉は礙步する。辦つの裁供供鎳で驕丸なら1攙のパタ〖ニングで貉んだ供鎳を3攙もしなければならないからだ。染瞥攣のパタ〖ニング供鎳は辦忍に20×25攙鎳刨のマスクが澀妥だが、トリプルパタ〖ニングだと、チップ瀾隴鏈攣ではこの3擒も箕粗がかかることになる。EUVなら1攙で貉む。しかし、EUVの各富となるX俐富の叫蝸が你く、溪各箕粗がかかっていた。
呵奪は、驕丸よりも1峰驢い100W叫蝸のX俐富も倡券され、炊刨の光いレジストの倡券も渴み、その謄龐が惟ってきたため、ここで辦丹に獲垛を抨掐し、EUVの翁緩步を渴めようというもの。倡券凋爬であるSUNY Polyと翁緩供眷のGlobalFoundriesが糠たな倡券チ〖ムを寥むことで、7nmプロセスの倡券を裁廬すると票箕に、ニュ〖ヨ〖ク劍惟絡池の池欄ˇ薄欄などに糠しいチャンスを料叫する。
SUNY Polyの池墓Alain Kaloyeros會は肌のように揭べている。≈海攙の券山は、クオモ夢禍が夸渴するイノベ〖ションによる沸貉券鷗モデルの馮蔡である。夢禍の里維弄な抨獲は、ニュ〖ヨ〖ク劍に坤腸弄なナノテク甫墊のインフラと港脫をサポ〖トしてきたが、APPC肋惟によりさらにム〖アの恕摟を變墓し、鏈染瞥攣緩度に糠たなチャンスをもたらすことになる。GlobalFoundriesとIBM、澎疊エレクトロンとのパ〖トナ〖シップにより、ここでの漓嚏拉と禱窖弄墻蝸を辦霖羹懼させ、緩度腸のニ〖ズを塔たし、この剩花な禱窖の瞥掐を裁廬する∽。
GlobalFoundriesは、IBM Microelectronicsを笆漣傾箭したことにより、IBMの坤腸弄な甫墊抨獲に木儡アクセスできることになり、黎眉禱窖倡券ができるようになる。≈SUNY Polyと鼎票の糠センタ〖により、7nm笆慣のプロセスノ〖ドの黎片を乖くことができる∽とGlobalFoundriesのCTO敷甫墊倡券么碰シニアバイスプレジデントのGary Patton會は胳っている。
糠センタ〖は、EUVリソグラフィ禱窖の睛脫步での啼瑪に艱り寥む。カギはASML家のNXE:3300スキャナ〖の瞥掐である。これが7nm笆慣の染瞥攣倡券の呵糠劉彌であり、NXE:3300Bも魯いて瞥掐する。票センタ〖はマスクサプライヤ〖と亨瘟メ〖カ〖にも徊裁してもらい、パタ〖ニング供鎳の答塑啼瑪豺瘋を奶してEUVリソの墻蝸を橙絡していく。裁えて、欄緩拉をさらに懼げるプロジェクトもあるとしている。
≈IBMは、染瞥攣禱窖倡券のコラボとリ〖ダ〖を魯けることを奶じて、クラウドやコグニティブコンピュ〖ティングに蝗う光拉墻コンピュ〖タを捏丁することを腆蘆する。APPC へのSUNY Poly CNSEの抨獲と、糠しいASML劉彌の瞥掐により、EUV禱窖の翁緩步の漿較が裁廬されるだろう。IBM Researchが黎瞥してきたアライアンスは、海鉗の玲い箕袋に度腸介の7nmテストチップをお斧せする∽とIBM ResearchのバイスプレジデントであるMukesh Khare會は極慨を斧せる。
