ASMLのEUV溪各怠、2015鉗の欄緩拉は士堆1000綏/泣笆懼
オランダをベ〖スとするASMLの2015鉗の度烙と鼎に、EUV劉彌の呵糠攫鼠が湯らかになった。これによると、2015鉗に媽4坤洛のEUV劉彌NXE:3350Bは2駱叫操された。呵介の悸脫怠NXE:3300Bは染瞥攣メ〖カ〖の供眷で、1000綏/泣笆懼の欄緩拉を評ており、NXE:3350Bは1250綏/泣笆懼の欄緩拉を評ている。
染瞥攣メ〖カ〖の供眷ではEUVを蝗ったチップ瀾隴の潔灑をしており、4降粗で1它5000綏笆懼を溪各した。また材脫拉(アベイラビリティ)は4降粗士堆で70%笆懼を茫喇し、4降粗で80%を茫喇した箕もあったという。材脫拉は、劉彌を蒼漂できる箕粗∈悸狠の度壇袋粗∷の粗に悸狠に蒼漂した箕粗の充圭を山す。鉗士堆だともっと你いという。
2016鉗の謄篩は、欄緩拉が1500綏/泣笆懼で、材脫拉が4降粗士堆80%笆懼、NXE劉彌の叫操駱眶6×7駱∈NEX:3300とNXE:3350、NXE:3400∷となっている。
哭1 ASMLで2015鉗稿染に卿れた劉彌 叫諾¨ASML
ASMLは呵黎眉のEUV劉彌ではなく、各の溪各劉彌が肩蝸瀾墑である。ArF閉炕劉彌とKrF劉彌がよく卿れている(哭1)。2015鉗に肌坤洛閉炕劉彌TWINSCAN NXT:1980の惟ち懼げに喇根、この劉彌を7駱叫操した。
ASMLの度烙も券山され、攻拇さを山している(哭2)。これによると2015鉗の卿り懼げは冊殿呵光の62帛8700它ユ〖ロ、蹦度網弊15帛6500它ユ〖ロ、姐網弊13帛8700它ユ〖ロであった。さすがに媽4煌染袋の卿懼馳は、漣奉孺、漣鉗票奉孺よりも布がったが、2015鉗は媽1煌染袋に16帛5000它ユ〖ロと、絡きく凱ばしたことが琳根した。
哭2 冊殿呵光の卿り懼げを茫喇したASML 叫諾¨ASML
2016鉗の媽1煌染袋の斧哈みも券山している。卿り懼げは13帛ユ〖ロ、療網弊唯42%∈2015鉗鏈攣は46.1%∷、甫墊倡券コストが2帛7500它ユ〖ロ、SG&Aコスト(任瓷銳)9000它ユ〖ロ、その戮箭掐(カスタマ鼎票抨獲紛茶)が2300它ユ〖ロとなっている。ロジックのカスタマ(ファウンドリやIntel)には、10nmプロセス劉彌の惟ち懼がりを袋略しており、媽2煌染袋から幌まる斧哈みだ。そうなると卿り懼げは、媽1煌染袋よりも媽2煌染袋の數で絡きく籠裁することになる。
哭3 これから澀妥となる劉彌の減廟荒 ArF閉炕とEUVが凱びる 叫諾¨ASML
2016鉗はさらに袋略できそうだ。減廟覺斗は2015鉗媽3煌染袋に糠瀾墑32駱が媽4煌染袋に39駱に籠え、面概も媽3煌染袋の3駱から媽4煌染袋に5駱へと籠裁している。糠憚減廟だけではなく減廟荒も籠えている。2015鉗媽3煌染袋には糠憚61駱、28帛3500它ユ〖ロだが、媽4煌染袋には票68駱、31帛4900它ユ〖ロに籠えている(哭3)。それもArF閉炕、EUV、KrFの界に驢い。
