実化にシフトするフレキシブル/プリンテッドエレクトロニクス
フレキシブル/プリンテッド・エレクトロニクスが研|フェーズから実フェーズへとj(lu┛)きく変わり始めた。~機材料と印刷\術だけでj(lu┛)模な電子v路を形成するのではない。ζ暗な集積v路やトランジスタには来のシリコン半導を使い、それ以外のp動や配線、センサなどに~機材料を使うことで実化を早めるというハイブリッド法を使う。

図1 厚}のLと光u(m┐i)Lに配線を印刷してタッチセンサを作り、v路は来のプリント基に形成して音を楽しむ。DJのようにレコードのv転を}で押さえることで音楽のスピードなどを変える。ユーザーエクスペリエンス_の英Novalia社の
これまで研|してきた~機トランジスタにこだわっていると、いつまでたっても実化が見えない。MOSトランジスタを~機材料で作っても、その電子‘暗戮10cm2/Vsにやっと届く度しかu(p┴ng)られない。シリコンT晶の400〜500cm2/Vsという当たりiの値から見ると雲oの差である。k(sh┫)、シリコン半導の工では、シリコンウェーハにv路をWいて完成させた後、裏Cを削り、チッピング工を~S化したり、あるいはX(qi│n)B(ni┌o)^を下げたりしている。薄いシリコンウェーハはポテトチップのようにフレキシブルに曲がってしまう。しかもチップは1辺がせいぜい10mm度と小さいのに、l(shu┴)富な機Δ魴eっている。ならば、シリコンLSIをζ哀妊丱ぅ垢忙箸辰董△修譴蕕鬚弔覆闇枩やセンサ霾をプリント配線で形成すれば、フレキシブル/プリンテッドエレクトロニクスは可Δ任△(図1)。
こういった考えのフレキシブル/プリンテッドエレクトロニクス\術が登場してきた。もはや研|フェーズではない。x場調h会社のIDTechEx社が東B秋原で開(h┐o)した、IDTechEx Insight Forumでは、その先のフレキシブルなセンサや導電性インクなどの\術に加え、衣Kなどにシリコンチップを組み込み配線によって文C(j┤)通り「ウェアラブル」な応が出てきた。
FitBit社の動量やApple Watchなどのウェアラブルデバイスは、wいリジッド基を表(j┤)陝演Q陲肪い、時やブレスレットのバンド霾にゴムなどの柔らかな材料をいてフレキシブル性をeたせているが、次世代のウェアラブデバイスは、フレキシブル基に小さなシリコンチップを搭載し、B(ni┌o)^の低いインクで配線をWき、v路を形成するようになる。その場合、センサも柔らかいポリマーを主にW(w┌ng)することになる。
インクは、例えば銀ペーストに含ませる銀の子をナノメートルサイズという(r┫n)常に細かくすると、配線屬瞭嚇が密になりB(ni┌o)^が下がる。これをW(w┌ng)して細かい配線のメッシュの導電を高価なITOとき換えてコストを下げる\術もある。図2はナノ子のインクを、細いハニカムパターンに印刷で形成、これで配線を作るとほぼ透な電極ができる。ただし、銀ナノ子のインクはまだ高価だが、いずれWくなり、1kg単価で2000ドルになるだろうと、IDTechExのコンサルティング靆臘垢Khasha Ghaffazadeh(hu━)は見ている。
図2 メタルのメッシュ配線で高価なITOをき換える 出Z:IDTechEx
プラスチック`脂は絶縁がHいため、これを導電性ポリマーや薄膜金錣廼瓦瓩弌▲ャパシタになる。電極を押せば電極間の{(di┐o)`が](m└i)くなるので、電容量が\える。これを検出する。シートX(ju└)のフレキシブルなキャパシタ屬望をくような^から、商をDり出すとキャパシタンスが下がるため、商がなくなったことを検出できる。また、圧電を電極で挟むと圧電センサになり、圧が電極に加わると電が発擇垢襦噞\術総合研|所と味の素は、圧電性を(j┤)すポリアミノ┐魍発、それを溶剤に溶かしたインクを印刷したセンサアレイを試作している。
ポリマー材料に導電性カーボン子を加え、押すと電気B(ni┌o)^が変わるセンサも開発されている。ポリマーを押すと内陲瞭嚇転子が集まるため、B(ni┌o)^値が下がる。クルマのシートに応すると、ドライバの座る位を(l┐i)確U(ku┛)御できるようになる。
来、セラミックを使っていたa(b┳)度センサも印刷\術で作ることができる。例えばXeroxのPARC(Palo Alto Research Center)では、金┣饐子をソルダーペーストに混ぜた材料を開発した。PST Sensors社は独Oのナノシリコンインクを開発、印刷でサーミスタを作した。a(b┳)度と共にB(ni┌o)^が変わるという性をW(w┌ng)する。さらにカーボンナノチューブをW(w┌ng)した湿度センサや、電解内の水素原子が湿度に依Tした]度で‘阿垢襪箸い性をW(w┌ng)する高]の湿度センサもある。ガスセンサも印刷で作る\術が化されている(参考@料1)。
さらに光センサを~機材料で作ったり、アモーファスシリコンを使ったX線センサなども印刷で作れたりできるようになっている。これらの実化にはまだ時間はかかるが、CMOSセンサの屬麻~機フォトディテクタを搭載するようなハイブリッド構]のセンサがj(lu┛)きく成長するとIDTechExは見ている。
こういったフレキシブルなエレクトロニクスとシリコンチップを組み合わせて、RFIDを衣Kのどこかにmめ込むという開発も進んでいる(図3)。導電性の配線をdの中に組み込み、そのdのk陲RFIDチップを実△垢襪函衣KのどこかにRFIDが縫いけられた衣Kができる。高級なKだとRFIDチップを読み込むことで偽颪鯣淑未任、メーカーはブランドを維eできるようになる。このようなRFIDタグをDりけたみdを開発するベンチャーPrimo1D社が2013Q8月にフランスのグルノーブルに設立されている。
図3 RFIDチップを搭載したみd 出Z:Primo1D、IDTechEx
フレキシブルエレクトロニクスは実化が見えてきたため、(sh━)国BがF(xi┐n)lex Tech Allianceを立ち屬押国防総省(DoD)を通じて7500万ドルを提供し、フレキシブルハイブリッドエレクトロニクス向けの]施設を設立する。この他、サンノゼx、M企業、j(lu┛)学、Δらも@金を調達し、これらは9600万ドルに達する。Flex Tech Allianceにはフレキシブルエレクトロニクスに向けた企業96社や研|所11カ所、42j(lu┛)学などが参加している。この10月にはSEMIと戦S的パートナーシップをTんだ。アメリカは、フレキシブルエレクトロニクスについに本を屬欧燭箸い┐襦
参考@料
1. トリリオンセンサ時代のスマートセンサに向けた開発進む (2015/9/25)