図1　藤倉ゴムの新型容量センサ

藤倉ゴム工業は、ゴム材料で構成されたキャパシタセンサを開発した(図1)。誘電��であるゴム基材の表裏に電極を��け、キャパシタにしている。このゴムを引っ張ることで、電極�C積が拡�j(lu┛)すると同時に電極間�{(di┐o)�`が�]くなるため、��電容量は�\�j(lu┛)する。容量の変化は、この材料を�Pばさない時の��電容量を1とすると、�P長率が100%で2に、200%で3、300%で4という数�C(j┤)になった����電容量の変化と�P長率はほぼリニアな関係を�eち、200%�P長率の時のヒステリシスは±3%以下とまずまず。この場合のセンサ形�Xは、幅5mm×長さ100mmで、電極�霾�の長さは60mmである。ロボットの腕や、曲がる動作をするようなシーンでのセンサを考えている。

また、藤倉は、センサではなくフレキシブルに曲げられる導電配線材料も開発している(図2)。これは、容量センサとは違い、ゴム�Xの配線を�Pばしても配線�B�^がほとんど変わらないという��長を�eつ。��来のフレキシブル配線だと、100mm/分の�]度で�Pばしていくと、�P長率100%では、初期の�B�^値が1Ωに満たなくても500Ωにも�\加する。しかし、このゴム配線だと、初期値0.81Ωから3.46Ωしか�\えない。またゴム�Xであるため、�P縮�v数を1000�vにしても初期値0.35Ωから3.27Ωにしか�\えない。��来のフレキシブル配線では�P縮�v数を�\やしていくにつれ、����に�B�^値が�屬�り、200�vも�eたない。

図2　藤倉ゴムの�P縮可�Δ頁枩�材料

加工できる幅は1〜5mm、長さは1m��度まで、膜厚は40〜300µmだが、カスタマイズ可�Δ世箸靴討い襦�ゴムベースの材料の中にフィラーのように導電性の金�鐓�子を混ぜているだめ、�Pばしても金�鐓�子が�`れていかない。この�T果、�B�^がさほど�\えないという。

表�C実�▲�スセンサ
ガスセンサを�t��(j┤)したのは、2012�Qにカリフォルニア�Δ離轡螢灰鵐丱譟爾��Zくに本社を設立したベンチャーのSPEC Sensors社。独�Oのスクリーン印刷�\術を��いたセンサ（図3）で、SPEC社はScreen Printed ElectroChemical sensor technologyの�Sから採ったもの。検出可�Δ淵�スは、CO、O3(オゾン)、NO2、SO2、H2S、エタノールなど。狙う応��は、�噞向けのガス検��(m┬ng)や、ウェアラブル機�_(d│)・ヘルスケア機�_(d│)、屋外�j(lu┛)気汚��モニタリング、アルコール�}気検出など。

図3　SPEC Sensors社のさまざまなガスセンサ　��は開発キット
出�Z：SPEC Sensorsホームページから

ベンチャー設立の狙いを同社のホームページを見ると、これからのIoTビジネスを推進する�屬把_要になるセンサをさらに�\やして、スマートフォンやIoTに�△┐訌世い�あるようだ。トリイオンセンサ時代が2020�Qころにやってくると言われ、��来の�駘�センサに加えて、化学センサがこれからのスマホを�lかにするだけではなく、ヘルスケア機�_(d│)にも�L(f┘ng)かせなくなる。��来パッケージのTO-92などの金�鑄��Vではなく、プリント�v路基���屬坊狙�できる表�C実�▲織ぅ廚離僖奪院璽犬房�容する。しかもこのパッケージだと、センサだけではなく、アンプやA-Dコンバータ、マイコン、Bluetooth送信機などIoTに��要な半導��も形成できるため、デジタル時代にふさわしい。例えば、NO2やH2Sのセンサだと20mm×20mm×3mm(厚さ)といった�j(lu┛)きさだ。

印刷�\術を使ったセンサでなぜ長��命にできるのか、については出�t�vの商社は把�曚靴討い覆�った。ただ、10�Qのサービスライフを提供するとしている。開発キットも���Tしている。

LEDによる�R�{(di┐o)��
また、光センサを�W(w┌ng)��したスマートセンサも登場している。Googleの�O��運転のクルマ、グーグルカーの屋根に�Dり��けられているLIDAR（Laser Imaging Detection and Ranging）システムは、レーザーレーダーを使い、反�o(j━)光からドップラー効果も加味して�{(di┐o)�`を�Rる����である。高価なレーザーを�W価なLEDに��えて、�R�{(di┐o)��を開発したのは、カナダのケベック�xにあるLeddar Tech社。センサエキスポでエレクトロニクス商社コーンズテクノロジーのブースに�t��(j┤)した(図4)。このシステムはLIDARで使われる�v転動作をさせずに�w定し、その代わりに最�j(lu┛)16個のLEDを組み込む。�kつのLEDがカバーする角度�J(r┬n)囲を割り当て、最�j(lu┛)95度の�J(r┬n)囲までカバーする。

図4　Leddar Techの�R�{(di┐o)��　出�Z：Leddar Tech社�@料から

Leddar Tech社は、センサモジュールだけではなく、�{(di┐o)�`を���Qする�_要な半導��チップも開発するファブレスでもある。

センサではないが、風変わりなデバイスとしてプラズマ発�昊_(d│)がある。��田��作所は、LTCC（低�a(b┳)焼成セラミック）基��に電極を形成し、高電�cで放電させることでプラズマを作り出し、さらに���Xに配��した電極にかける電圧をサイクリックに変えていくことで、プラズマの流れ(プラズマ気流)を��こすデバイスを試作した(図5)。ファンを使わずに小型のプラズマ�{(l│n)浄����を作ることができるようになる。O3(オゾン)を発�擇気擦襪海箸膿祐屬隆世筌▲鵐皀縫⊇�などを消すことができる。印加電圧は数��Vと�x販のプラズマ����の数kV（数1000V）よりは低い。電極間の感覚を数��µmに�]縮したため。

図5　��田��作所が試作したプラズマ発�昊_(d│)