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地震に(d┛ng)い防uシステムをラピス宮城に構築・進化させる沖エンジニアリング

東日本j(lu┛)震uの記憶が1Q以峽个辰討發泙zに残っているが、半導工場のラピスセミコンダクタ宮城(旧OKIセミコンダクタ宮城で、現在ロームの傘下にある)の地震予Rシステム構築を}Xけてきた沖エンジニアリングは、地震に(d┛ng)い工場を作るコツをこのほどらかにした。

図1 ラピスセミコンダクタ宮城の工場に地震とデータ解析システムを独Oに構築 出Z:沖エンジニアリング

図1 ラピスセミコンダクタ宮城の工場に地震とデータ解析システムを独Oに構築 出Z:沖エンジニアリング


BCP(業M(f┬i)プラン)という言が最Zよく語られるようになったが、地震やu害がきても工場をn働しけ、業をM(f┬i)するための仕組みのことだ。マグニチュード(M)9.0と巨j(lu┛)な東日本j(lu┛)震uにもさほどj(lu┛)きな被害を出さずにすんだラピス宮城は、T周到なBCPのk環として地震予Rシステムを構築していたことがそのj(lu┛)きな要因となっている。ではそのシステムとはどのようなものか。このシステム作りに係わってきた沖エンジニアリングがその仕組みについて語った。

宮城県の古川駅からクルマで仙xに向かう中にあるこの工場では、(c┬)去地震に何度も見舞われた経xがある。1978Q6月にM7.4の宮城沖地震、2003Q7月にM6.2の宮城県靉♯地震、2005Q8月にM7.2の宮城地震に(ji┌ng)われた。ここ数蚊Qに渡り、国内できたj(lu┛)きな地震の中でも被害のj(lu┛)きかったものとして1995Q1月の阪神・淡路j(lu┛)震uがある。1988Qに設立された宮城沖電気(ラピス宮城のi身)は95Qのj(lu┛)地震を契機として、地震敢を考えるようになった。もちろん、阪神・淡路j(lu┛)地震のiからもm設配管の廃V、停電敢、ガス洩敢等の総合防u敢は実施していた。のw定(sh┫)法や配管のサポート等の考え(sh┫)はこの頃に見直しをしているという。

さらに、2003Q7月の宮城県靉♯地震で半導工場(当時)が被uし、地震への官(d┛ng)化や地震予Rの要性を再認識することとなった。2005Q9月には気(j┫)庁が配信するg地震]報のデータベースに立地地盤情報が加わり、@度が屬るようになった。気(j┫)庁および防u科学研|所などが地盤調hT果を情報として発信している地盤のれ情報や、れやすさなどの情報を~効している。それとともに地震の履歴を蓄積し、工場設地震のデータを行った。

次に、気(j┫)庁からのg地震情報に基づく予Rだけに頼らず、工場内にもPSの地震を設・することで誤報をvcしようとした(図1)。さらに、この地震のPSS形データによる予Rシステムを2006Qに構築し、@度を屬欧拭これは、気(j┫)庁からのg地震]報は、地震Sがどの(sh┫)向から来るか、いつ頃到するかという総合的な情報として~効しながら、地震振動のj(lu┛)きさをより確に判するために現地地震を~効にしたもの。これによって直下型のような地震にも官できるようになった。

地震と高@度な解析システムからできている「オンサイト地震防uシステム」では、数秒〜数寡iに震度とれの到達までの時間を推定できる。これによって、作業^はWe勢の確保と、cM経路の確認、W地域へのcMが可Δ砲覆襦F瓜に、建屋ではさまざまなe(cu┛)険zガスや薬を地震到達iに遮したり、クリーンルームでは@密機_(d│)や高]v転を停Vしたりできるようになった。これらによって、人的・経済的害を最小に食いVめ、ビジネスをできるだけ早く復旧できるようになった。2009Q12月にはPSのS形データ解析時間を]縮できるようにした。

この工場では、地震予Rシステムを構築しただけではなく、このシステムを?q┗)した防u訓aも定期的に行っている。予R値が80Gal(R震度は4.7)になると、社内にg放送が流れ、人命を守るgcM行動に,襦次に二次u害を防Vするため、120Gal(R震度5.1)になると、zガスを遮し、薬の供給もVめる。同時にビジネスへの影xを最小限に食いVめるため、露光機、搬送トラック、テスターなどの攵も停Vさせる。

地震が収まった後は、早期に復旧しなければならないが、O動復旧だと電uや薬]などが飛gするというe(cu┛)険性が残っている。このため、被害X況を確認しながら}動で復旧していく。その確認をWに行うため要な_(d│)困髻Wな場所に常時保管している。

東日本j(lu┛)震u後の2011Q12月に、地震防uシステムを改し、PSのS形データ解析アルゴリズムを変(g┛u)、複合地震にも官できるようにしている。沖エンジニアリングとラピス宮城の地震防uシステムの進化はく。

(2012/05/18)
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