65nm笆慣のEB木閃に乓けるイ〖ˇシャトル
臭及柴家イ〖ˇシャトル 洛山艱涅舔家墓 炮李秸舒會
これまでEB木閃∈排灰ビ〖ムによる木儡閃茶禱窖∷はいつ丸るかと咐われながら、その湯澄な炳脫がはっきりしなかった。辦數、65nmプロセスのマスクセットは2帛邊にも茫すると咐われるようになった。マイクロプロセッサとメモリ〖、稱鹼のIP、件收攙烯などを1チップに礁姥する、寥み哈みSoC箕洛がやってくると警翁驢墑鹼が碰たり漣の箕洛になってきた。そのような箕洛だからこそ、EB木閃のシャトルサ〖ビスを捏丁する臭及柴家イ〖ˇシャトルが欄まれた。この11奉1泣に料惟塔1鉗謄を忿える票家の洛山艱涅舔家墓 炮李秸舒會にこれまでの1鉗とこれからの里維について使いた。
Q∈セミコンポ〖タル試礁墓∷¨ようやく排灰ビ〖ム溪各がLSI瀾隴に蝗われようとしています。少晃奶からスピンオフしてまもなく1件鉗を忿えます。この1鉗を慷り手ってどのようにやってきましたか々
A∈洛山艱涅舔家墓 炮李秸舒會∷¨イ〖帴シャトルには絡きく尸けて企つの度壇があります。辦つはシャトルビジネス、もう辦つが排灰ビ〖ム溪各ビジネス、です。1綏のウェ〖ハに剩眶の杠狄の攙烯を很せて辦刨に借妄するシャトルサ〖ビスは、もともと少晃奶家柒で乖っていました。これを辦忍に倡庶するわけです。EB溪各に簇しては、活侯墑や、眶翁が警ないLSIの欄緩にはEB木閃の數が各溪各よりも奧く貉みます。
この1鉗粗に乖ったことは、まずシャトルビジネスの攣擴を侯ってきました。ユ〖ザ〖を倡麥するため、呵絡のユ〖ザ〖である家柒嬸嚏羹けにドキュメントを臘灑しました。これまで家柒の廟矢なら、鼎奶の咐駝でわかることが驢かったため、ドキュメントがなくてもLSIを瀾隴できました。しかし、家嘲ユ〖ザ〖羹けにはこうは乖きません。きちんとしたドキュメントで緘界や雇え數を揭べていなければ、疙豺を欄じビジネス懼でトラブルが欄じる材墻拉があります。この1鉗粗で、家嘲のユ〖ザ〖倡麥に100家ほど攙りました。裁えて、EB劉彌の瞥掐が覓れていたのですが、海鉗の2奉に掐れました。
Q¨アジアの頂圭メ〖カ〖との汗侍步はどうしますか。
A¨TSMCと孺べてEB溪各で活侯すること極攣が汗侍步です。揉らはEB木閃の沸賦がありません。EB木閃はマスクを蝗わない供鎳尸は奧くできますので、コストメリットはあります。ですので、TSMCよりは奧く侯れると蛔っています。とはいえ、TSMCはファウンドリの兜徽です。ファブのキャパシティが般いますね。
Q¨シャトルサ〖ビスは絡池が網脫しますが、絡池はいろいろな廟矢をつけませんか。アカデミックディスカウントにしてくれとか、カスタム弄にもう1霖姥んでくれとか。
A¨シャトルビジネスとしては年咯舶になりたい。芹俐霖眶としては2~3鹼梧しかメニュ〖を叫さないでその認跋柒で部とかやってもらいたいです。しかし、きちんとサポ〖トしなくてはなりません。そこをどう豺瘋するかが啼瑪です。しかし、活侯なのだからわがままを使いてくれとも咐われます。こちらとしてはできるだけ紊いメニュ〖を捏丁することが喇根のカギとなります。捐り圭い數及ですから、オプションには灤炳できないことをわかってもらおうとしています。
Q¨EB溪各のメリットは部でしょうか々
A¨これまで活侯は悸賦脫などのミニファブで乖い、翁緩箕に欄緩ラインへ積っていきましたが、65nmプロセスになるとマスク1セットが2帛邊もします。活侯と翁緩を侍」のマスクで肋紛していたのではもはや沸貉弄にやっていけません。活侯はせめてEBで、翁緩になったら各溪各でやればいいのです。EB溪各のデ〖タを各溪各へと恃垂できます。
また、活侯でもリソグラフィだけはEBで溪各するとしても戮のプロセスは少晃奶話腳供眷の300mm翁緩ラインをそのまま蝗います。すでに65nmプロセスの辦嬸はEB溪各を蝗っています。ですから翁緩への敗乖がスム〖スにできます。活侯と翁緩の般いはリソだけなのです。悸狠にはEB溪各怠のスル〖プットはそれほど光くはありません。しかし、ポリシリコンも崔めた布霖の芹俐霖をEBでパタ〖ニングし、懼霖の芹俐霖を各溪各でパタ〖ニングするという緘を蝗えば、プロセス鏈攣でみればさほど覓れることはありません。
Q¨辦僧今きのEB溪各だと倡券は玲くできますか。
A¨プロセス鏈攣のTAT∈タ〖ンアラウンド箕粗∷で倡券の玲さは瘋まります。EB溪各が覓いからといってプロセス鏈攣の箕粗にはそれほど跟きません。マスクを侯らない尸だけまた玲くすむというメリットもあります。EB木閃を辦嬸だけ蝗っており馮渡マスクは侯りますので、海のところそれほど恃わりません。ただし、EBは侯り木しが詞帽なので、その尸玲くできます。
Q¨各溪各と排灰ビ〖ム溪各との粗でのコンパチビリティはあるのでしょうか。
A¨65nm鎳刨になりますと、EBの數がマスク奶りに賴澄にパタ〖ンを閃けますが、各溪各だとOPC∈各奪儡跟蔡輸賴∷で輸賴しなくてはなりませんし、燙泡な恃垂侯度が澀妥になってきます。そこで、EBのパタ〖ンを各のパタ〖ンのようにわざと束して各によるパタ〖ンの叫丸懼がりに圭わせます。これは翁緩を罷急して、哭燙を輸賴しています。
Q¨どのような瀾墑をEB溪各で肋紛するつもりですか々
A¨まずカスタム墑でしょう。FPGAやPLDで活侯するユ〖ザ〖は驢いのですが、謄いっぱい廬刨や拉墻を懼げたいと雇えているユ〖ザ〖にとっては濕顱りないでしょう。そのような眷圭には漓脫のチップを倡券することになります。この眷圭の瀾墑はシャトルというよりは1家が1綏のウェ〖ハ鏈嬸を蝗う炳脫です。
シャトルとEB溪各で面井の措度や絡池がカスタムLSIを倡券するためのバリヤ〖を布げたいと搓っています。僵駝付の池欄が極尸の漓脫LSIを侯ってみたい、という妥司に炳えることが妄鱗です。活侯レベルで光廬のチップを漓脫のハ〖ドで侯りたいという妥司にも炳えたいと蛔っています。
絡緘のシステムメ〖カ〖がASICを倡券する眷圭、潑に倡券檬超でEBを寵脫してもらうことを雇えています。ASICの慌屯が呵姜瘋年する漣にEBを網脫してチップを活侯し、慌屯が瘋まったら、各溪各を蝗って翁緩すればよいでしょう。海のところはまだ瀾墑に魂ったものはありませんが、鉗刨柒には部とかEBを蝗った瀾墑を謄回そうと蛔っています。
Q¨ここへきてやっと劉彌もビジネスも瓢き叫しました。その稿の斧奶しはいかがですか。
A¨叫獲莢であるアドバンテストとの廈し圭いによって2鉗粗はトライアル弄にやってみようとのことで、その稿で經丸の敞が閃けるかどうかで禍度の數羹が瘋まります。呵介の1鉗は潔灑袋粗です。この稿、極尸たちのビジネスモデルを侯り木していくつもりです。それは杠狄がどれだけいるか、EBの拉墻がどれだけ懼がったから、斧奶しはあるか、ということを雇えて禍度の敞を閃いていきます。
Q¨肌の1鉗への斧奶しを使かせてください。
A¨獲塑潔灑垛を圭わせてあと1鉗で25帛邊です。アドバンテストから劉彌1駱を獲塑垛に寥み哈み、もう1駱をリ〖スで稼りるという妨を艱ります。アドバンテストはもはや眶警ないEB木閃劉彌メ〖カ〖になりました。瘧鑼した措度が驢かったので。もっとEBを坤の面にはやらせたいのですが。
しかし、各リソグラフィもX俐のEUVも喇根するかどうかわからないので、EBに灤して度腸がもう警し妄豺を績してくれれば、システムASICの活侯ツ〖ルとして寵迢できるのではないかと袋略しています。
