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Q（セミコンポータル��集）: 　SEMICON Westで450mmウェーハプロジェクトおよび300mmPrime（300ミリプライム）の研�|成果を発表しました。300mmPrimeは450mmへスムーズに以�Tできるようにするため300mmの段階から、����式のラインを構成したりセットアップ時間の削��などを考えたり、これまでの300mmで使っているインフラストラクチャとは別の構成を仮定しています。まず300mmPrimeの研�|でやったこととその�T果の詳細を聞かせてください。
A（Kramer��）:　300mmPrimeの研�|調�hは2006�Q10月から始めました。このときから9カ月かけて調�hしました。調�hの�}段はコンピュータシミュレーションです。ISMIには300mmウェーハのプロセス工場があり、月��3万���ξ�という�Z型的な��模のラインです。このラインを基本として、�攵掚を阻害するマイナス因子を導き出します。これらのマイナス因子を�h価するわけですが、�`的はマイナス因子が小さければ300mmPrimeは使えることになります。ターゲットとする、コスト削��30%とサイクル時間50%を実現できるかどうか、を�h価します。

Q:　どのようなマイナス因子を�[定しましたか？
A:　まずは����の可��性（アベイラビリテ��）です。����が故障して使えなくなる時間があり、その何%が��画しないで故障停�Vしたものなのか、という見積もりをします。また、����の待ち時間も無�Gな時間です。たとえば炉に投入する�iの待ち時間です。3つ�`は最初のウェーハの��れ時間とセットアップに要する時間です。4つ�`が����式あるいはミニバッチ（最�j6��）を�i提とする炉のプロセスツールを仮定することです。

Q:　���Q時間や�}法はどのようなものですか？
A:　もし�攵掚が1%改��したらどうなるか、をコンピュータでシミュレーションします。このシミュレーション時間は8〜24時間かかります。通常����では、調�h�^は帰���iにコンピュータを動かし���Qをさせておきます。翌朝オフィスに出てきてから���Q�T果をレビューします。考察を加えてから次のシミュレーションのシナリオを��めます。このようにして1�Q間に�攵�するウェーハの�攵掚をシミュレーションで���Qします。���陲�150�vシミュレーション���Qを9カ月に渡り行いました。

Q:　セミコンで発表された�@料の�T果の図を見ますと、最初に設定した300mmPrimeで開発期間（サイクル時間）を50%、コストを30%削��するという�`�Yはクリヤーできないという�T�bです。コストダウンだけなら10%削��は可�Δ任垢�、サイクル時間は変わりません。サイクル時間を下げようとするとコストが�\�jしてくる、という�T果です。
A:　だから450mmウェーハにしなければサイクル時間50%、かつコスト30%削��という�`�Yをクリヤーできないという�T�bが出たのです。ただ、300mmPrimeの調�hは��模を縮小して1〜2�Q先まで�M��します。どのような問��が浮�屬靴討�るかもしれないからです。300mmPrimeとはいわゆるフォワード・コンパチビリティのことなのです。450mm使��を�i提とした300mmウェーハのシステムのことですから。

Q:　450mm��画（プログラム）についてお聞かせください。いつから始まりどのようなことを研�|するのですか。
A:　450mm��画は2008�Q1月1日から始めます。テーマは、まずシリコンウェーハでは、厚さや均�k性、形�Xなどを調べ仕様を��めます。半導��メーカーはできるだけ薄くしてほしいと要求していますが、����メーカーは�D扱いやすさを考慮して厚くしたいと考えています。この�Bし合いが��要です。またオリエンテーションのノッチをどこにつけるか、あるいはノッチをつけないウェーハではオリエンテーションをどのように��めるか、などのテーマがあります。
次にウェーハのハンドリングです。300mmで使われてきたFOUPという容�_に代わるものを��めなければなりません。たとえば450mmウェーハを25��収容すると何と20kgにもなります。こうなると���O動しか搬送�}段はありません。また容�_を導入する�霾�はフロント開閉かボトム開閉か、という��めごともあります。
さらに次世代工場のガイドラインと、450mmのファクトリインテグレーションのテストベッドを実際に作ります。

Q:　次世代工場のガイドラインについて説��してください。
A:　ガイドラインは19項�`あり、�jきく分けて、キャリヤとEHS問��、����デザイン、�����U御の��つのテーマから出来ています。これらを詳細に議�bし、その詳細を本にして表します。初期段階でのFOUPのようなキャリヤに入れるウェーハ��数と仕様をはじめ、フロント開閉の450mmキャリヤの仕様、などにわたります。詳細な分厚い本を出すまでに2〜4�Qかかるでしょう。

Q:　450mmのファクトリインテグレーションのテストベッドとは何ですか。
A:　スラング的な英語で申し�lありません。これは、デモンストレーションのための実�x室です。クリーンルームを作り、サプライヤの�気�いろいろな����やキャリヤを�h価します。ロードポートがどの企業の����にも入るように相互運��性（インターオペラビリテ��）を、�駘�的にもソフトウエア的にも確認します。

Q:　こういった問��を解��できた暁には450mmウェーハの���△�完了するといわれていますが、いつを考えていますか。
A:　ここでの���△箸蓮�450mmウェーハを使った最初の工場という�T味です。まだ暫定的ですが2014�Qを�`�Yにしています。それまでにいろいろなことが��きますから、変わるかもしれません。

Q:　それまでに行うべき�_要なことは何ですか？
A:　コラボレーションです。半導��メーカー同士のコラボレーションだけではなく、半導��メーカーと����メーカー、あるいは材料メーカーとのコラボレーションは�Lかせません。