LEAPの喇蔡鼠桂、どう寵脫するか、啼われる徊裁措度
畝你排暗デバイス禱窖甫墊寥圭∈LEAP∷のプロジェクト≈你煤燎家柴を悸附する畝你排暗デバイスプロジェクト∽は士喇22鉗刨から塑鉗刨までの5鉗粗に畔って甫墊されてきた。LEAPが肩號する≈媽4攙 你煤燎家柴を悸附する畝你排暗デバイスプロジェクト喇蔡鼠桂柴∽がこのほど倡かれ、その倡券されたデバイスが蠕溪された。
哭1 LEAPが肩號した喇蔡鼠桂柴
トランジスタとメモリの艱り寥み
LEAPが5鉗粗艱り寥んできたテ〖マは皋つ。SOTB-CMOSと鈣ぶトランジスタ菇隴、STT-MRAM、PCメモリ、付灰敗瓢房スイッチデバイス、そしてナノカ〖ボン芹俐である。SOTB-CMOSは、CMOSトランジスタのチャネル撾拌にノンド〖プ霖を肋け、ゲ〖トしきい排暗Vthのバラつきを負らし、かつSOIウェ〖ハによって鄂順霖を懼布からはさみリ〖ク排萎を負らす菇隴を何った。バラつきを娃えることで、排富排暗を布げることができる。毋えば0.2×0.4Vのしきい排暗で、0.5×0.8Vの瓢侯排暗を鱗年し、10它ゲ〖トの憚滔のチップで100nA笆布のリ〖ク排萎を茫喇している(哭2)。さらに、面拉灰俐によるソフトエラ〖にもバルクに孺べ3けた動いことを澄千している。
哭2 SOI CMOSにノンド〖プ霖を肋けたSOTB∈Silicon on Thin Buried Oxide∷トランジスタの拉墻 叫諾¨LEAP
付灰敗瓢スイッチでは、FPGAなどのロジックセルの磊り侖えスイッチとして蝗うことを晾っており、驕丸FPGAのスイッチに蝗われているSRAMを付灰敗瓢スイッチと彌き垂えたチップを侯り孺秤した。驕丸SRAMプロセス、付灰敗瓢スイッチプロセスとも65nmの1霖ポリシリコン、7霖メタル霖の驢霖芹俐のCMOS禱窖を蝗脫した。1セル碰たり2∵4掐蝸のLUT∈ルックアップテ〖ブル∷のセル燙姥を孺秤すると、付灰敗瓢スイッチはSRAMベ〖スの1/4となった。
またいくつかのSRAM答塑攙烯を活侯し、SRAMと付灰敗瓢スイッチとの拉墻も孺秤した。16ビットカウンタでは覓變箕粗は染負、4ビット捐換達では1/3に負った(哭3)。ただし、24ビットの俐妨耽叢シフトレジスタではほとんど恃わらなかった。瓢侯排蝸も孺秤した。16ビットカウンタと24ビット俐妨耽叢シフトレジスタでは瓢侯箕排蝸は鼎に2/3鎳刨負り、4ビット捐換達では1/3に負った。鼎に排富排暗は0.8V。付灰敗瓢スイッチに羹くRTLの俠妄圭喇ˇマッピングツ〖ルも侯喇している。付灰敗瓢スイッチはCMOSプロセスの驢霖芹俐嬸尸に肋けるため、プロセス懼のなじみは紊いようだ。
哭3 驕丸のSRAMベ〖スの答塑攙烯と、付灰敗瓢スイッチベ〖スのそれとの孺秤 叫諾¨LEAP
STT-MRAMでは、腮嘿步するとMTJ∈姬丹トンネル儡圭∷の潰恕バラつきが絡きくなるという啼瑪があった。そこで儡圭の件跋の婁噬を煥步することで悸狠の儡圭の木仿を腮嘿にした。すると、バラつきが負警した。そこでリソグラフィによる濕妄潰恕は35nmと驕丸と票じに裁供しながらもMTJの排丹弄ˇ箕袋弄潰恕を35µmから20µmに腮嘿步すると、今き垂え排萎が驕丸の40µAから15µAに你負した(哭4)。婁噬煥步にスパッタと極臉煥步を駛脫することで、リ〖ク排萎喇尸も久えたとしている。
哭4 腮嘿步してもバラつきは籠裁せず久銳排萎も布がった 叫諾¨LEAP
16Kビットのメモリアレイも活侯した。鳥鉤バラつき3σは謄篩の16%笆布をクリヤ〖した。マクロ刪擦脫に1Mビットアレイも活侯している。今き垂え攙眶の裁廬活賦ではストレス排暗を0.9Vから0.8V、0.7Vと裁え、0.65Vでは10の16捐という攙眶を斧姥もっている。MTJはさらに姬丹センサとしても瓢侯できるため、メモリだけではない炳脫甫墊も渴めている。
悸脫步に羹けた啼瑪豺瘋へ
陵恃步メモリRAMでは、ANDフラッシュ事みの井さなセル燙姥でありながら、驕丸のPRAMよりも你久銳排蝸瓢侯ができるTRAMを倡券面だ。PRAMではSb、Te、Geの圭垛の馮窘と潤窘劑のスイッチングによって恃わる鳥鉤を網脫したが、TRAMでは馮窘Aから馮窘Bへの蓮敗を網脫するため、久銳排蝸が你いうえに光廬の瓢侯が材墻だ。GeTe遂とSb2Te3遂を蛤高に部霖も腳ね圭わせる≈畝呈灰∽を侯る。その馮蔡、驕丸のPRAMと孺べ、排富排暗は40%に布がり、久銳排萎は染負した。1M/2Mのマクロを活侯し瓢侯を澄千しているが、瓊違による光鳥鉤稍紊が券欄しており、これを豺瘋する澀妥がある。
呵稿にナノカ〖ボン芹俐だが、妥滇は企つある。辦つは、Cu芹俐を腮嘿步すると芹俐のシ〖ト鳥鉤が締籠していく啼瑪を豺瘋できること。もう辦つは、3肌傅NANDフラッシュのように光いアスペクト孺の瞥奶芹俐が滇められることだ。コンタクトホ〖ルやTSVを雖めるのにナノカ〖ボンが羹く。玻數羹の芹俐には驢霖グラフェンを蝗い、僥數羹の芹俐にはCNT∈カ〖ボンナノチュ〖ブ∷を蝗い尸けする。ナノカ〖ボン芹俐泰刨がまだ你いが、300mmウェ〖ハに妨喇するという悸賦を乖った。
これらの喇蔡を叫獲柴家が欄緩ラインに很せることができると、糠たに瀾墑倡券するよりもコストを娃えられる。もちろん、しっかりしたマ〖ケティングが腳妥で、杠狄倡麥をエンジニアが極ら乖わなければならない。そのための抨獲も澀妥だが、戮の瀾墑倡券でも票屯な抨獲がかかると雇えるのなら、馮渡、寵脫する數がROIは銅網ではないだろうか。
