謊を附わしつつある勢柜のDX¨媽3嬸APCとIndustry 4.0 (5) TELのVM
APCカンファレンスで漣李會の磅據(jù)に荒ったTEL AmericaのBen Rathsack窮晃の怪遍を疽拆する。染瞥攣瀾隴におけるVM∈バ〖チャルメトロロジ〖∷とその稿のAIを蝗った徒夢瘦鏈などの呵糠禱窖でウェ〖ハ殊偽まりを懼げ、腮嘿步が渴んでもバラツキを負(fù)らせることを悸沮してきたという。(セミコンポ〖タル試礁技)
螟莢¨AEC/APC Symposium Japan 漣李固皇
漣攙は、DX禱窖による貸賂の染瞥攣欄緩ラインのスマ〖ト步が渴乖している屯を、OT婁のマネ〖ジメントの渾爬で斧てきた。この恃步は、瑯かに渴乖している。豺老莢の慌禍のやり數(shù)も、瑯かに、しかしながら徒袋したより玲く恃步している。海攙は、TEL家という劉彌ビジネスをリ〖ドする、劉彌メ〖カ〖からの渾爬を疽拆したいと蛔う。DX禱窖を額蝗した劉彌覺輪の豺老、雌渾サ〖ビスをもビジネスとして渾填に掐れている。劉彌緩度としての、糠しいビジネスモデルの料叫である。
3-4. TEL 劉彌メ〖カ〖としての渾俐〗 DXを蝗ったスマ〖トファブ步とクラウドサ〖ビス
TEL America (Tokyo Electron America) のVice President であるBen Rathsack窮晃は、漣供鎳劉彌を面看に、∪Smart tool : Intelligent Control in Semiconductor Manufacturing∩ と瑪して劉彌メ〖カ〖の囪爬での染瞥攣のスマ〖トファブ步を揭べた。
SEMATECHの肩萎は、染瞥攣劉彌メ〖カ〖であったという斧豺をしばしば使いたことがあった。劉彌メ〖カ〖として、附哼から奪い經(jīng)丸をどのようにみているか、督蹋があった。
3-1でも揭べたように、2015鉗笆慣は、VM∈Virtual Metrology∷悸脫步のあゆみが裁廬してきた。海泣、ディ〖プラ〖ニングや怠常池漿と咐われる光刨なAI、および光刨なアルゴリズムを蝗った徒盧モデルが、ウェ〖ハのバ〖チャル弄な鏈眶浮漢を材墻にしている。奪鉗の糠痹染瞥攣漣供鎳ファブは、このような妥燎禱窖を寥み哈んだネットワ〖クシステムを菇蜜している。瀾隴劉彌は、この菇蜜されたネットワ〖クに儡魯するための篩潔步されたインタ〖フェイスを積っている。
それではなぜ、このような光刨で光擦な慌寥みが附れてきたのだろうか々部がモチベ〖ションであったのだろうか々
腮嘿步は、染瞥攣デバイスの拉墻の謄承ましい羹懼とともに、マスク眶の籠裁をもたらした。それによるプロセスステップの籠裁は、ウェ〖ハコストの懼競をもたらしている。SoCの坤腸では45nm箕洛に孺べ、海泣の黎眉禱窖のウェ〖ハの瀾隴コストは、5擒笆懼になっている。3D步したメモリも票じ笨炭にある。哭3-16は、この粗の恃步を詞烽に濕胳る。こうして、瀾隴供鎳で己われるウェ〖ハを警しでも警なくするモチベ〖ションは呈檬に光まった。
哭3-16 籠え魯けるウェ〖ハコスト 叫諾¨Intelligent Control in Semiconductor Manufacturing、Dr. Ben Rathsack, TEL
卻き艱り浮漢の稿、嘉てられるウェ〖ハのコストもバカにならないのだ。メトロロジ〖浮漢をバ〖チャル弄に乖い、嘉てるウェ〖ハ翁を警なくしたいという瓢怠は、締廬に光まってきている。さらに、PM (Preventive Maintenance, 徒夢瘦鏈)を呵努步して、冊娟な殊偽まりロスを松ぎつつ、劉彌蒼漂を蒼ぐという瓢怠も光くなった。2010鉗笆慣、IMA-APCや、AEC/APC Japanでは、FDC∈肝俱浮叫と尸梧∷、YMS∈殊偽まり瓷妄システム∷の妥燎禱窖に簇する券山が籠裁している。その稿に附れてくるのが、FDC、YMSからの徒盧モデルの侯喇だ。FDCデ〖タから瀾墑殊偽まり、瀾墑拉墻を徒盧するという、いわゆるVM (Virtual Metrology, バ〖チャルメトロロジ〖)である。哭3-17にあるように、驕丸のメトロロジ〖浮漢は、ロット髓のウェ〖ハ卻きとり浮漢であった。VMの坤腸では、バ〖チャルでの鏈ウェ〖ハの浮漢になる。VMの呵介の瓢怠は、嘉てるウェ〖ハを負(fù)らすための∪粗苞き浮漢∩とでいうものであったと僧莢は千急している。
哭3-17 VMによる鏈眶浮漢 叫諾¨Intelligent Control in Semiconductor Manufacturing、Dr. Ben Rathsack, TEL
籃逄な徒盧モデルでのVMによる、ウェ〖ハのバ〖チャル弄な鏈眶浮漢が材墻となると、 PM (Preventive Maintenance)の呵努步も材墻である。哭3-18はこの滔屯を山しており、 VMによるPMの呵努步は、染瞥攣漣供鎳では、悸脫の撾拌に掐ってきている。
哭3-18 VMのデ〖タと悸盧デ〖タ 叫諾¨Intelligent Control in Semiconductor Manufacturing、Dr. Ben Rathsack, TEL
2015鉗孩には、FDC、YMS、VM、ビッグデ〖タ箭礁システムという、改」の妥燎禱窖がほぼ叫丸懼がってきている。これ笆慣の糠痹染瞥攣供眷には、このような慌寥みが介めから羌掐されており、殊偽まり、瀾墑バラツキコントロ〖ルの屯灰が笆漣と佰なってきている。瀾墑の殊偽まりばらつきや、拉墻ばらつきは、テクノロジノ〖ドが絡(luò)きいほど∈牢のテクノロジノ〖ドほど、腮嘿步が渴んでいないほど∷井さくなるのが妄二である。ところが海泣、28nm笆慣の黎眉禱窖ファブで欄じる瀾墑ばらつきは、65nmや、90nmというテクノロジノ〖ドのファブでの瀾墑ばらつきより井さい。附悸は、妄二とは瓤灤になっているのだ。この粗の、劉彌およびプロセスコントロ〖ル禱窖の坤腸に彈こった、覆螟な禱窖匙糠をみる。
呵稿に、Ben Rathsack窮晃は、劉彌メ〖カ〖からの渾爬として、糠たなるサ〖ビスビジネスに咐第している∈哭3-19∷。 すなわち、杠狄であるファブのネットワ〖クシステムへのリモ〖トアクセスを蝗ったクラウドコンピュ〖ティングによる、デ〖タ豺老、劉彌雌渾サ〖ビスである。劉彌メ〖カ〖として、糠たなるビジネスモデルである。
哭3-19 リモ〖トアクセスの雇え數(shù) 叫諾¨Intelligent Control in Semiconductor Manufacturing、Dr. Ben Rathsack, TEL
海攙は、劉彌メ〖カ〖からの渾爬を疽拆した。DX禱窖を額蝗した劉彌覺輪の豺老、雌渾サ〖ビスをもビジネスとして渾填に掐れる、劉彌緩度としての、糠しいビジネスモデルの料叫である。
肌攙は、染瞥攣プロセスコントロ〖ルに簇する的俠を考めてきたオピニオンリ〖ダ〖たちの斧豺を疽拆したい。DX禱窖を蝗ったスマ〖トファブ步の海稿の渴鷗をどのように陋えているのか、部が澀妥とされてくるのだろうか々
