姜哚したのか、ム〖アの恕摟々
勢フェアチャイルド家のゴ〖ドンˇム〖ア∈飛疚維、笆布票屯∷は1965鉗に銅嘆なム〖アの恕摟を晶えた。そのエッセンスは、≈染瞥攣チップに烹很されるMOSデバイスの眶は、ほぼ1鉗で擒籠させることが材墻である∽と咐うものである。券山された碰箕ム〖アはロバ〖トˇノイスと鼎にフェアチャイルド家を彈し、そこで漂いていたが、ム〖アの恕摟を呵も弓く苞脫したのはフェアチャイルド家ではなく、企客がアンディˇグロ〖ブと鼎に1968鉗に肋惟したインテル家である。
叫諾¨インテル家ホ〖ムペ〖ジ
禍悸、海泣でも票家のホ〖ムペ〖ジにはム〖アの恕摟喇惟の沮凋として玻即に鉗刨を、そして僥即に灤眶スケ〖ルでチップ懼のトランジスタ眶をプロットしたグラフが非げられているが、その耕芹は腮攤に恃わりどちらかと咐えば腆2鉗で擒籠にすり侖わった妨になりこの覺輪が筆く魯いていた。このグラフ∈哭∷は1970鉗のトランジスタ眶、腆2,000から幌まり2006鉗のItanium 2のトランジスタ眶12帛まで魯きほぼ木俐に捐っている。2008鉗のInternational Solid State Circuits Conference (ISSCC)で票家が券山した肌坤洛MPUであるTukWilaは、チップ眶が悸に20帛改と券山された。TukWilaは、2009鉗に翁緩倡幌とのことである。
さて、懼揭のグラフでは績さないがTukWilaを裁えてプロットすると寶釜懼がりのグラフの飯夾はTukWilaにおいて飯夾逞刨が七り、2006鉗のItanium 2までの妒俐と湯らかに稍息魯に斧えてその耕芹の逞刨が腆染尸になってしまった。ただし1990鉗孩に瞥掐された介洛Pentiumも票屯に逞刨が七かったので肌の糠瀾墑までプロットを斧てみないとこのことを們年するのは箕袋景玲であろう。ともかく票家はこの染灤眶プロットが辦木俐で魯く嘎りム〖アの恕摟が怠墻しているとの惟眷なのである。
辦數、ム〖アの恕摟は姜哚した、箋しくは撬鎂しているとする俠拇も驢くある。Semiconductor International Japanの2007鉗10奉規が辦毋である。もう辦つの毋は迫惟恕客緩度禱窖另甫の付凰蝦が券山した豺棱で≈ム〖アのビジネスモデルの撬鎂∽と瑪された矢鞠である。
悸はム〖アの恕摟を怠墻させた侍の銅嘆な恕摟があり、それは部かといえばスケ〖リング摟である。IBM家のR. H. Dennard霹は、∪Design of Ion-Implanted MOSFET's with Very Small Physical Dimensions,∩ IEEE J. Solid-State Circuits SC-9, 256_268 (1974)、と瑪する俠矢を給倡している。ム〖アの恕摟が券山されてから9鉗謄のことであった。この裹灰はMOSデバイスのシュリンク簍ち教井步をガイドする妄俠である。簍ち、デバイスの潰恕を1/K擒するモデルを揉らは侯った。糠デザインのパタ〖ンを1/KでシュリンクさせてMOS攙烯を肋紛する箕、チップ燙姥は、1/Kの企捐で教井する。ここで廟罷しないといけないのは、スケ〖リング摟においてゲ〖ト煥步遂の更さも1/K擒になり遂更を負らすことになる。この妄俠では教井の馮蔡、攙烯の廬刨、チップ燙姥、久銳排蝸の拉墻が羹懼することを斧禍に績すことができ、たいへん攻旁圭であった。ここで簿に1/K = 0.7を聯ぶと1/Kの企捐は0.49でほぼ1/2なので、2鉗ごとにこのようなデザインル〖ルの教井步を悸乖することでム〖アの恕摟に捐せることができる、と碰箕は雇えられ呵介はその奶りに渴んだ。
ただし、その稿いろいろな啼瑪が叫てくる。辦毋は煥步遂である。1970鉗碰箕は煥步遂更1000オングストロ〖ムがふつうであった。これを0.7擒でスケ〖ルして斧ると、2鉗稿700、4鉗稿490∧と魯けて28鉗稿は紛換懼は7オングストロ〖ムと咐う馮蔡になる。ただ、煥步遂の付灰粗調違は腆5オングストロ〖ム。簍ち、7オングストロ〖ムを瀾隴することはできない。この啼瑪を豺瘋しなくてはならなかった。
もちろん、7オングストロ〖ムまで乖く漣にトンネル排萎によるゲ〖トリ〖ク排萎が覆哼步する啼瑪があった。この啼瑪を豺いたのが霹擦煥步遂更の雇え數でHigh-k亨瘟のHfO2∈ハフニゥムオキサイド∷は孺投排唯が腆25と光い猛を積つ。シリコン煥步遂の孺投排唯は3.9なので、ハフニゥムオキサイドで遂更を蒼ぐことができた。7 X 25 / 3.9 = 45オングストロ〖ムであって、これなら阜しいがどうにか瀾隴できるしトンネル排萎も痰渾できよう。だが呵玲ほぼ嘎腸であろう。この肌はどうするのだろうか々
戮に券錢やリ〖ク排萎などさまざまな啼瑪が稿から稿へと券欄したが、染瞥攣度腸は附哼までに陵碰な咆蝸を馮礁し、部とか哭のような喇蔡を刁げて40鉗で6峰、1,000,000擒の光拉墻步を茫喇して丸た。なお、1970鉗孩はDRAM 1Kビット瀾墑が腆10ドルであったことを雇えればLSIワンチップの猛檬もこの40鉗でほぼ稍恃であり峰が懼がることはなかった。もちろん、この禍悸は紊く夢られたことなのだが猖めて染瞥攣度腸の拔絡な喇蔡に鱗いを泌せることになる。
附哼の垛突稍斗は鹼」の咆蝸で睦瑯步するだろう。ただ、その稿ム〖アの恕摟はどう鷗倡するのだろうか々廟謄して斧奸りたい。
