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Andrew Groveさんの思い出

セミコンダクターポータルJ報の通り(参考@料1)、インテル社を率いたGroveが先月に|去されたと、伝えられた。Mは光栄にも1967Qにご本人にお会いしたことがあったので、にそのことを思い出した。本人の御冥福を曚蠅弔痛困譴覆いΔ舛暴颪い討澆燭ぁ

1967Qに盜颪離錺轡鵐肇DCで、半導デバイスの学会であるIEDM(International Electron Device Meeting)が開された。この会議に出席して先端のシリコン\術を学んで来て報告するように、と会社から命ぜられて出かけた。その国際会議場でm運にも筆vはGroveと]い時間ながら交流することができた。

もちろん、当時はFairchild社の研|所のトップで働いていたGroveは、つとに~@で、その@は我が国でも瑤貪呂辰討い燭里如△@iだけは筆vも瑤辰討い拭c~@なのは当で、Jにj量の\術b文を発表していた。

そのb文のkつは、参考@料2にした~@なb文だ。MOS構]をツールとして使って、MOSに関わるシリコンとその表Cを戮X┣祝譴箸猟cCの駘を調べる画期的な桔,覆里澄咾里燭瓩砲修里茲Δb文を読んでいたのはラッキーであったと言えよう。

初日、IEDMの学会で席を確保して待つと、数人の隹爾鯱△譴Groveが現れた。その中にフローマン-ベンチュコブスキー(Frohman-Bentchkowsky)F士がいた。この気蓮▲罐瀬Uでラストネームが長いために筆vはよく覚えていた。ハイフンを入れるとアルファベットで20文Cにもなる。筆vが興味をeったのはボスのGroveが何と}びかけるかであった。ファーストネームはDovなので}びかけは、「ドブ」なのだろうか?答えは直ぐに出た。Groveは、筆vの`のiで「ドクターフローマン」と}びかけたのだ。「なるほど」と納uが行った。神@な学会の始まる直iに筆vはこのように不届きなことを考えていた。ドクターフローマンは今やよく瑤蕕譴EPROM(Electrically Programmable Read Only Memory)の発vだ。

筆vは峙の参考@料2をはじめとして、Groveのb文を読んでいたので、問してみたらどうだろうと次に考えた。どうせ会社に戻れば出張報告をさせられる、それならそれに}を添えるためにもGroveに問すればエピソードになる。IEDMのセッションが終わった最初のブレーク時間に、b文に関して、O己紹介後に筆vはよくんだ初歩的な問をした。的なその中味は今、覚えていないが、t答を期待したのだ。Groveからのt答はすぐにuられた、そして「\は、MOSを何Q経xしている?」とねてくれた。易しい問であったので答えはすぐに出てきた。実は、筆vは当時4Q度MOSの咾鬚靴討い拭

驚いたことにその国際会議場にはもうk人のよく瑤蕕譴真颪いたが、最初はわからなかった。Groveがその気Bしかけたので瑤襪海箸できた。「Dr. Sze,….あなたの新刊のご本は確かに、p-n-p-nデバイスのことなどを海靴討い泙垢、最新のMOSについての内容は少ないですネ」。S. M. SzeF士は当時Bell Laboratoriesで躍しており、「Physics of Semiconductor Devices」なる著書を発表していた。その著書は日本でも間もなく販売され筆vも読んだ。あらゆる半導デバイスを扱った@著である。SzeF士はGroveに瓦靴董屬△遼椶枠焼デバイスに関する科Zを`指し、j学院擇離丱ぅ屮襪砲覆襦彁櫃糧言をされた。

確かに国際学会は価値が高い。半日出ただけでこれほどの収\があった。会社に帰ったらこれらをよく報告しx伝しよう、と思った。

エイデム 代表D締役 j和田 敦之

参考@料
1. さようならAndrew Groveさん、Wらかに (2016/03/23)
2. A. S. Grove, et al; "Investigation of Thermally Oxidized Silicon Surfaces Using Metal-Oxide-Silicon Structures" Solid State Electron., 8, 145 (1965)

ごT見・ご感[
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