勢柜のウェ〖ハファブ措度に啪喀した孩の鱗い叫
海攙は、1970鉗孩勢柜染瞥攣ファブ措度に啪喀した攣賦を閃いてみたい。もちろん、海とは箕洛秦肥が鏈く佰なる。礁姥攙烯緩度は笳湯袋であり、ICが面看となるエレクトロニクスビジネスが緩度のコメなどと咐われ、ビジネスの坤腸をばく渴していた。
碰箕、泣塑の箋莢で畔勢する客」はまだ警眶であり、偽池欄や睛家の家鎊、喂乖莢などがいた。僧莢のようにいきなり附孟柴家の家鎊になる客は警眶だった。喀眷では慌禍の箕粗掠は咐うまでもなく、毖胳囊けになる。秒蒂みは、睛家マンなどは泣塑客グル〖プだけで冊ごし泣塑胳を蝗えるが、僧莢にはそんなぜいたくはなかった。喀眷にいたのは坤腸からやって丸たさまざまな客たちだった。
碰箕は啪喀に僻み磊る客も警なく、そのせいか掐家に狠しては銘謙に胺ってもらえた。タイプされた眶是の毖矢のレタ〖が掐家漣に凸流されて丸た。その柒推は拒嘿に畔り、惦瘟のことを面看に垛馳がなぜそうなるのかという拒しい棱湯があった。それに偽まらず、灰丁企客を崔む3客の踩虜の畔勢ビザを、柴家の銳脫で艱評するなどと今かれていた。
テキサスインスツルメンツに掐家した箕の懼皇は、ドクタ〖 ロバ〖ト ウエイクフイ〖ルドという數で、諱がDr. Wakefieldと鈣びかけると、≈そうじゃない、ボブと鈣ぶように∽と咐われ、ボブに皖ち緬いた。
勢柜でも頂圭措度のことが丹になるのか、インテル家の1101なる介袋のDRAMを尸老する慌禍も、その孩に炭じられた。この慌禍は、諱にとって絡恃に舔惟ちDRAMの壽動ができた。慌懼がりを鼠桂すると、その馮蔡をレポ〖トに今く漣に廠の漣で券山するように炭ぜられた。潔灑して柴的技に乖くと陌槳は30客くらいいた。スライドを蝗ったプレゼンを乖い、そのまま姜わるのを袋略したが、プレゼンの稿も豺庶してもらえずに懼皇のボブが皇柴してQ&Aのセッションに敗乖した。Q&Aでは驢眶の劑啼の甜が若び、批えるのに鵝汐する眷燙もあった。そして2箕粗ほどで鏈てが姜わりほっとした。
ファブで侯っていたのは、バイポ〖ラのTTLや、MOS菇隴のDRAM、そしてMOS排罵チップなどだった。僧莢はその柒にProduct Engineerといわれた禱窖喀を么った。Productはもちろん、デバイスを罷蹋する瀾墑のことだが、ファブで券欄する絡啼瑪の辦つは你殊偽まりに吭きた。ピン眶に嗓濃する眶の玫克をチップ懼に惟ててデバイスが瓢侯するかどうか、その怠墻を浮漢するマルチプロ〖ブの侯度を乖い、你い殊偽まりのロットが冉湯した。
殊偽まりが10%駱だと絡恃に欄緩跟唯が礙い。ウェ〖ハを抨掐してロットをスタ〖トさせても10%では、ウェ〖ハを絡翁に抨掐しても杠狄が妥滇する眶翁になかなか毗茫しない。Product Engineerの呵腳妥草瑪は奧年して殊偽まりを80%駱笆懼に瘦つためのロット豺老だった。そのためには悸狠にいかなる稍紊が驢券しているかを夢る澀妥がある。Yield loss mechanism identification∈己われた殊偽まりのメカニズム豺湯∷と嘆燒けた侯度を變」と魯けなければならない。この侯度を悸乖して部が礙いのかを仆き賄めなくてはならない。
毋えばコンタクトがオ〖プン稍紊になる。リソグラフィとエッチングと麗爵侯度でコンタクトホ〖ルを妨喇しメタルフィルムで鏈攣を蕊いそのメタルをパタ〖ン步すれば、排萎はコンタクトホ〖ルを奶って萎れるはずだ。でもそうはならないことが驢」券欄する。そうなると殊偽まりは締慣布してしまう。メタル-シリコン粗に罷哭しない冷憋フイルムが叫丸て殊偽まりを布げるのだ。このような禍悸を仆き賄めて你い殊偽まりを猖簾していくのがYield loss mechanism identificationの侯度だ。もちろん、戮の付傍による殊偽まり啼瑪も驢券する。毋えば、MOSICでは、ゲ〖トしきい排暗が稍碰に絡きくても稍圭呈、稍碰に井さくても稍圭呈になるため殊偽まりは你布する。それらが豺湯されれば、その攫鼠を答に、稿はProcess Engineerが灤忽を慮つことが材墻になる。
Yield loss mechanism identificationという毖胳を蝗ったのは僧莢のみであった。この咐駝は僧莢が澀妥に炳じて蝗ったわけで、懼皇や票謂は妄豺してくれた。でもあまり蝗う澀妥がなかったのか蝗わなかった。これを浮瑚してもおそらく叫てこないだろう。妄統は僧莢のみが1970鉗孩に盡緘に侯り勢柜で瞥掐した咐駝だからである。
票屯の咐駝で勢KLA家のRick Wallace會などが1980鉗洛稿染に驢脫した毖胳がある。それは、Root Cause Search∈殊偽まりが你い含塑付傍の玫瑚∷という咐駝だ。さすがに麗錫されており、絡恃にわかりやすい。ただ、この咐駝は疙豺を痙きやすいかもしれない。Root Cause Analysisという咐駝もあるからだ。稿莢の咐駝は、怠達に寥み哈まれたICが肝俱する、いわゆる輝眷稍紊を罷蹋することが驢いようだ。ただし、Rickは、KLAのセミナ〖では粗般いなく殊偽まりの你さを罷蹋してRoot Cause Analysisという咐駝を蝗っていた。だからこそ、咐駝は勢柜客でさえ、郟隨になることがある。禱窖の的俠では、撅に咐駝の年盜を澄千する澀妥があるかもしれない。
廟∷Analyzing Semiconductor Failures – From Evidence to Root Cause (2013/03/17)
