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今vは、1970Q頃盜馮焼ファブ企業に転職したxをWいてみたい。もちろん、今とは時代背景がく異なる。集積v路噞は黎期であり、ICが中心となるエレクトロニクスビジネスが噞のコメなどと言われ、ビジネスの世cをばく進していた。

当時、日本の{vで渡櫃垢訖諭垢呂泙西数であり、粒擇箴社の社^、旅行vなどがいた。筆vのようにいきなり現地会社の社^になる人は少数だった。職場では仕の時間帯は言うまでもなく、英語漬けになる。昼休みは、商社マンなどは日本人グループだけで圓瓦憩本語を使えるが、筆vにはそんなぜいたくはなかった。職場にいたのは世cからやって来たさまざまな人たちだった。

当時は転職に踏み切る人も少なく、そのせいか入社に際してはtに扱ってもらえた。タイプされた数頁の英文のレターが入社iに郵送されて来た。その内容は詳細に渡り、給料のことを中心に金Yがなぜそうなるのかという詳しい説があった。それに里泙蕕此∋匐‘鷽佑魎泙3人の家の渡櫂咼兇髻会社のJでDuするなどと書かれていた。

テキサスインスツルメンツに入社した時の峪覆蓮▲疋ター ロバート ウエイクフイールドという気如MがDr. Wakefieldと}びかけると、「そうじゃない、ボブと}ぶように」と言われ、ボブに落ちいた。

盜颪任硴合企業のことが気になるのか、インテル社の1101なる初期のDRAMを分析する仕も、その頃に命じられた。この仕は、Mにとってj変に役立ちDRAMの咾できた。仕屬りを報告すると、そのT果をレポートに書くiにSのiで発表するように命ぜられた。△靴堂餤勅爾帽圓と聴は30人くらいいた。スライドを使ったプレゼンを行い、そのまま終わるのを期待したが、プレゼンの後も解放してもらえずに峪覆離椒屬司会してQ&Aのセッションに々圓靴拭Q&AではH数の問の矢が飛び、答えるのにZ労する場Cもあった。そして2時間ほどでてが終わりほっとした。

ファブで作っていたのは、バイポーラのTTLや、MOS構]のDRAM、そしてMOS電Rチップなどだった。筆vはその内にProduct Engineerといわれた\術職を担った。Productはもちろん、デバイスをT味するのことだが、ファブで発擇垢觸j問のkつは低歩里泙蠅某圓た。ピン数に匹發垢訖瑤涼疑砲鬟船奪屬卜ててデバイスが動作するかどうか、その機Δ鮓hするマルチプローブの作業を行い、低い歩里泙蠅離蹈奪箸判した。

歩里泙蠅10%だとj変に攵奟率がKい。ウェーハを投入してロットをスタートさせても10%では、ウェーハをj量に投入しても顧客が要求する数量になかなか到達しない。Product Engineerの最_要課はW定して歩里泙蠅80%以屬吠櫃弔燭瓩離蹈奪伐鮴呂世辰拭そのためには実際にいかなる不良がH発しているかを瑤要がある。Yield loss mechanism identification(失われた歩里泙蠅離瓮ニズム解)と@けた作業を々とけなければならない。この作業を実行して何がKいのかを突きVめなくてはならない。

例えばコンタクトがオープン不良になる。リソグラフィとエッチングと浄作業でコンタクトホールを形成しメタルフィルムでを被いそのメタルをパターン化すれば、電流はコンタクトホールを通って流れるはずだ。でもそうはならないことがH々発擇垢襦そうなると歩里泙蠅肋T下してしまう。メタル-シリコン間にT図しない絶縁フイルムが出来て歩里泙蠅魏爾欧襪里澄このような実を突きVめて低い歩里泙蠅魏していくのがYield loss mechanism identificationの作業だ。もちろん、他の原因による歩里泙衞筱もH発する。例えば、MOSICでは、ゲートしきい電圧が不当にjきくても不合格、不当に小さくても不合格になるため歩里泙蠅歪祺爾垢襦それらが解されれば、その情報を基に、後はProcess Engineerが敢を]つことが可Δ砲覆襦

Yield loss mechanism identificationという英語を使ったのは筆vのみであった。この言は筆vが要に応じて使ったわけで、峪覆籠疫^は理解してくれた。でもあまり使う要がなかったのか使わなかった。これを検索してもおそらく出てこないだろう。理yは筆vのみが1970Q頃にM}に作り盜颪覇各した言だからである。

同様の言でKLA社のRick Wallaceなどが1980Q代後半にHした英語がある。それは、Root Cause Search(歩里泙蠅低い根本原因の探索)という言だ。さすがにaされており、j変にわかりやすい。ただ、この言は誤解をdきやすいかもしれない。Root Cause Analysisという言もあるからだ。後vの言は、機_に組み込まれたICが故障する、いわゆるx場不良をT味することがHいようだ。ただし、Rickは、KLAのセミナーでは間違いなく歩里泙蠅猟磴気鯀T味してRoot Cause Analysisという言を使っていた。だからこそ、言は盜饋佑任気─∇PSになることがある。\術の議bでは、常に言の定Iを確認する要があるかもしれない。

R)Analyzing Semiconductor Failures – From Evidence to Root Cause (2013/03/17)

エイデム代表D締役 j和田 敦之
ごT見・ご感[
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