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「p講vがもっとpけたくなる」実zを_した人材育成教育のカリキュラム

人材育成教育プログラムではカリキュラムの構成が鍵となる。まして暗黙瑤Hい]分野での教育プログラムとなると、聞はk見に如かずで、実z的なものが要である。文章で書かれているテキストだけでは情報量がどうしても限られてしまう。

2024Q5月17日の朝日新聞朝刊に「半導工 見られる さわれる」というタイトルの記が掲載された。九工業j学マイクロ化総合\術センターが半導関連企業から研T擇pけ入れて、「設から検hまで工を実際の機_を使って学べる」研Tを行っており、今や「p講料で同センターの約1億の運営Jをえる」(同L)とのことである(参考@料1)。

かつて経済噞省が団修寮ぢ紊猟裔Q職で、日本企業の]ノウハウが絶たれてしまうというe機感をQき、劜連携]中核人材育成業を行ったことがある(参考@料2)。2007Qから△魍始し2008Q度から4Q間の時限で、日本国に36のプロジェクトを発Bさせた。同参考@料のプロジェクトナンバー35番にらかなように九γ楼莨噞性化センターも「劜連携半導]中核人材育成業」をpRして業をt開したが、その時にもこの九工業j学マイクロ化総合\術センターが躍した。以下本Mでは時をしのぶため、当時の役職とw称、社@をできるだけそのまま記載させて頂く。

峙で紹介された施設は当時九工jに在籍された浅野|教b(参考@料3)が、心pをRいで構築された施設であるが、日本の半導噞がA陽となっていく時期と_なり、筆vが見学させて頂いた当時は、浅野教bは運営JのU約と施設使vの{浄化教育でj変Z労されていたのを記憶している。なにせ半導~の、不純颪砲茲襯僉璽謄クル、スクラッチ、汚れ敢には莫jな金がかかり、しかもいったん汚されたら、その除去が困Mである。その屐半導噞~の毒性ガスやO\発性のガス薬を使うので、W敢にも気を配らねばならない。現在その運営Jがえるレベルに至ったことはj変喜ばしく、隔世の感がある。

今でも通するレベルのカリキュラム

この九γ楼茲爆t開された半導]中核人材育成業は、経愱の\金が切れた後、残念ながら総括することもなく経済的な理yで、解gしてしまったが、そのカリキュラムは今の時代でも基本霾は通する、極めて実z的でj変優れたものであった。それは浅野教bをはじめ、元東席\監でその後アプライドマテリアルズジャパンでも\師長として経xを積まれた柏v弘(参考@料4)などが中心となって構築されたもので、当時のテキストをめくって見ると、内容の濃さでも流石と思わせるものがある。筆vも柏vに誘われて同業に参画する機会をuていたが、セミナーで司会をした分だけでもここに紹介して、まきながらk端を総括するとともに、時をしのんで関係vのご努をHとしたい。なお、このプロジェクトには元九j学教bで、当時y本の電子応機械\術研|所所長をされていた鶴稔夫のごмqもあったことを記しておく。

プロジェクト運営委^会委^長は宮崎j学工学霤典づ纏匚学科の澤 嘰bである。九工j浅野教bはその後九j学j学院システム情報科学研|院教bになられ、応駘学会理をされた、半導に]が深い研|vである。また柏v弘はその後、y本県噞\術センターの初代所長をされ、にその後は新エネルギー・噞\術総合開発機構(NEDO)の\術戦S研|センター、電子・情報・機械システムユニットでフェローをめられたほどの実vである。このプロジェクトではこの両がリーダーシップを発ァされ、それまでの研|実績と積み屬欧蕕譴真楊に基づいた成果がT集されていた。

そのカリキュラムの構成は、材料投入から完成までk気通棖靴織ΕА璽魯廛蹈札更に使われる要素\術と、工場で使われる]機_のメカニズム・・材料の要素\術との、j別して里2本柱で座学が構成されていた。その柱を包み込むように峙九工jの施設にてウェーハ工の実{と、j分県のエリア社(参考@料5)におけるテスト\術の実{が組みこまれており、しかもその屐▲蹈鵐鼻Ε▲廛螢Ε┘▲機璽咼梗辧併温憂@料6)の]現場・攵掚改教育まで組み込まれていて、極めて実に適した、実z的なプログラムであった。

この2本柱の例を挙げておこう。実際の運営はくまもとテクノ噞財団が主する形で実施された。

平成20Q度のテキスト、「半導プロセス要素\術」の柱では、例えば、現在このコラムのインサイダーズとしてエンジニアb点の記でご躍されている、元ソニーで盜馘典げ蹴愕慍颯侫Д蹇爾寮Kによる「クリーン化\術」や、@古屋j学工学陬廛薀坤泪淵旅学研|センターの林俊d教bによる「真空とプラズマ\術I」、NECセミコンダクターズ九Α儻の y本川尻工場のヒ楾筌哀襦璽廛泪諭璽献磧爾砲茲襦嵜振・プラズマ\術II」などがある。これらはこのカリキュラムのk端ではあるが、タイトルと講師@からだけでも基礎から応までカバーしている気窺えよう。

「]\術」の柱では、例えば東Bエレクトロン九Δ粒発本霾…_健作課長と飛田晃E主による「メカ・エレキ・センサー・U御」、堀場エステックの開発本靄{水哲夫副本霙垢砲茲襦嵶U御\術・配管\術」、SMC社y本営業所の空気圧1級\士矢野x係長による「空気圧機_と空気圧システム」などがあった。{水講師のオン/オフ時に瞬時に動作するマスフローメータの講Iや、矢野講師のクリーンルーム内でも使できる発塵を抑えたコンセプトの空気圧システムの講Iなどは、今でもQ_な見を唆している。

これに峙の九工jにおける実{とエリア社の実{、にはロンドアプリウエアサービス社代表D締役中崎Mの現場改例講Iと実{があり(参考@料6)、今振り返って見てもに|華なプログラムであった。このようなカリキュラムはに教育のプロと、実のプロの融合による成果としてできたものと言えよう。筆vO身も司会をしながら咾気擦督困い燭發里任△襦

これからはAIの]\術も教育項`に

初めて九工jの施設を見学させて頂いた時に、突浅野教bに院擇iで何かBをするようにと言われた。筆vはk線の研|vである浅野教bのiで半導\術をおBしできる_ではないので困惑したが、mい当時、コンピュータソフトが進んで、以iこのブログでも紹介した細書を類性で分類して解析する\術(参考@料7)がx販され実化されており、マップを作る\術としてR`されているというネタがあったので、それで冷や汗を流しながらお茶をUした思い出がある。今ならAI\術を使えば何でもない\術であるが、当時は研|課や研|テーマをめねばならない研|vや研|所長にとって、このマップは現X\術レベル把枉}段のkつとしてLかせなかったからである。

当時と比較して現在はプロセス\術も設\術も、そして現場改\術にも、レベルの差はあれ、AI関連の\術がDり込まれている。今やその辺の実z的な教育も含めたカリキュラムが求められていると思う。に管理や攵厙理、そしてW管理Cなどの管理\術のCからの教育も、AIsきにしては語れなくなっている。

実をかすと、筆vが80歳までめた東Bj学j学院工学U研|科電気U工学専講師をめた理yは、残念ながらAIに関して実経xがくないことをO覚したからであった。進t著しいAI\術をいかにDり込んでしていくかが、今後の]中核人材にも求められる時代が来ている。そのCを加味した実z的なカリキュラムとして、どういうものが求められるのかを真剣に考えねばならない時期になっている。

タイトルの「もっとpけたくなる」という句は、定期的に開かれていたi記九γ楼莨噞性化センターのプロジェクト委^会で、委^のおk人であったNECセミコンダクターズ九Α儻のy本川尻工場の阿雜F史工場長が、「このプロジェクトの認度はまだ低い。x伝を啣修靴燭蕕匹Δ、例えば『もっとpけたくなるセミナー』というキャッチフレーズを使ってでも」と発言され、委^会がどよめいた記憶から、その言を拝借した。もっとも筆vO身がこのコラムの氾辻集長から「『もっと読みたくなる』記を書け」とラられそうなので、Oも込めている。

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いつものことであるがこの度も氾辻集長にはごh読頂いた。
また内容が18Qもiのことで、筆vの}元@料も少ないため、浅野教bと柏vNEDOフェローの御h閲も賜ったことを記し、深甚なaTを表したい。

参考@料
1. j鹿靖、「九工jにキオクシア・ラピダス・・・研T次々 半導工 見られる さわれる 設〜検h 実際の機_使い」、朝日新聞 経済・総合欄、(2024/05/17)
2. 「平成17Q度劜連携]中核人材育成業」、
プロジェクト数36はQ度によって\がある。但し日本国t開の模を瑤訌T味ではこのまま使してもよいだろう
3. 「浅野|教b
SUMCOのインタビュー記も詳しい
4. 「柏v弘
5. 「エリア社
 同社社長樋口嘉もプロジェクト運営委^会のメンバーとしてご躍された
6. 「ロンド・アプリウェアサービス
「工場管理」70巻6(2024)にて、y本「ひのくにO場」1000人の軌跡として紹介されている。代表D締役社長は中崎M
7. r志田元孝、「類性で検索するツールと電子図書館での~機薄膜の分析」、セミコンポータル、(2010/04/22)

\術コンサルタント r志田 元孝
ごT見・ご感[
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