2024�Q5月17日の朝日新聞朝刊に「半導����工�� 見られる さわれる」というタイトルの記��が掲載された。九��工業�j(lu┛)学マイクロ化総合�\術センターが半導��関連企業から研�T�擇��pけ入れて、「設��から検�hまで��工��を実際の機�_(d│)を使って学べる」研�Tを行っており、今や「�p講料で同センターの約1億��の運営�Jを��える」（同�L）とのことである（参考�@料1）。

かつて経済�噞省が団�修寮ぢ紊猟裔Q��職で、日本企業の���]ノウハウが絶たれてしまうという�e(cu┛)機感を�Qき、�劜連携���]中核人材育成��業を行ったことがある（参考�@料2）。2007�Qから���△魍�始し2008�Q度から4�Q間の時限で、日本��国に36のプロジェクトを発�Bさせた。同参考�@料のプロジェクトナンバー35番に��らかなように九�γ楼莨噞��性化センターも「�劜連携半導�����]中核人材育成��業」を�p�Rして��業を�t開したが、その時にもこの九��工業�j(lu┛)学マイクロ化総合�\術センターが��躍した。以下本�Mでは��時をしのぶため、当時の役職と�w称、社�@をできるだけそのまま記載させて頂く。

�峙�で紹介された施設は当時九工�j(lu┛)に在籍された浅野�|��教�b（参考�@料3）が、心�pを�Rいで構築された施設であるが、日本の半導���噞が�A陽となっていく時期と�_なり、筆�vが見学させて頂いた当時は、浅野教�bは運営�Jの�U(ku┛)約と施設使���vの�{(l│n)浄化教育で�j(lu┛)変�Z労されていたのを記憶している。なにせ半導�����~の、不純�颪砲茲襯僉璽謄�クル、スクラッチ、汚れ�敢�には莫�j(lu┛)な金がかかり、しかもいったん汚��されたら、その除去が困�Mである。その�屐�半導���噞���~の毒性ガスや�O�\発��性のガス薬��を使うので、�W���敢�にも気を配らねばならない。現在その運営�Jが��えるレベルに至ったことは�j(lu┛)変喜ばしく、隔世の感がある。

今でも通��するレベルのカリキュラム

この九�γ楼茲爆t開された半導�����]中核人材育成��業は、経�愱の���\金が切れた後、残念ながら総括することもなく経済的な理�y(t┓ng)で、解�gしてしまったが、そのカリキュラムは今の時代でも基本�霾�は通��する、極めて実�z的で�j(lu┛)変優れたものであった。それは浅野教�bをはじめ、元東����席�\監でその後アプライドマテリアルズジャパンでも�\師長として経�xを積まれた柏�v��弘��(hu━)（参考�@料4）などが中心となって構築されたもので、当時のテキストをめくって見ると、内容の濃さでも流石と思わせるものがある。筆�vも柏�v��(hu━)に誘われて同��業に参画する機会を�u(p┴ng)ていたが、セミナーで司会をした分だけでもここに紹介して、��まきながら�k端を総括するとともに、��時をしのんで関係�vのご努��を�Hとしたい。なお、このプロジェクトには元九���j(lu┛)学教�bで、当時�y本の電子応��機械�\術研�|所所長をされていた鶴��稔夫��(hu━)のご�мqもあったことを記しておく。

プロジェクト運営委�^会委�^長は宮崎�j(lu┛)学工学�霤典づ纏匚�学科の��澤 �嘰�bである。九工�j(lu┛)浅野教�bはその後九���j(lu┛)学�j(lu┛)学院システム情報科学研�|院教�bになられ、応���駘�学会理��をされた、半導��に�]��が深い研�|�vである。また柏�v��弘��(hu━)はその後、�y本県�噞�\術センターの初代所長をされ、��(g┛u)にその後は新エネルギー・�噞�\術総合開発機構（NEDO）の�\術戦�S研�|センター、電子・情報・機械システムユニットでフェローを��められたほどの実���vである。このプロジェクトではこの両��(hu━)がリーダーシップを発ｧされ、それまでの研�|実績と積み�屬欧蕕譴真楊�に基づいた成果が�T集されていた。

そのカリキュラムの構成は、材料投入から完成��まで�k気通棖靴織ΕА璽魯廛蹈札更���に使われる要素�\術と、工場で使われる���]機�_(d│)のメカニズム・����・材料の要素�\術との、�j(lu┛)別して�里�2本柱で座学が構成されていた。その柱を包み込むように�峙�九工�j(lu┛)の施設にてウェーハ工��の実�{と、�j(lu┛)分県のエリア社（参考�@料5）におけるテスト�\術の実�{が組みこまれており、しかもその�屐▲蹈鵐鼻Ε▲廛螢Ε┘▲機璽咼梗辧併温憂@料6）の���]現場・�攵掚改��教育まで組み込まれていて、極めて実��に適した、実�z的なプログラムであった。

この2本柱の����例を挙げておこう。実際の運営はくまもとテクノ�噞財団が主��(h┐o)する形で実施された。

平成20�Q度のテキスト、「半導��プロセス要素�\術」の柱では、例えば、現在このコラムのインサイダーズとしてエンジニア�b点の記��でご��躍されている、元ソニーで��(sh━)国電気化学学会フェローの�K����(d─n)��(hu━)による「クリーン化�\術」や、�@古屋�j(lu┛)学工学�陬廛薀坤泪淵旅�学研�|センターの林俊�d教�bによる「真空とプラズマ�\術I」、NECセミコンダクターズ九�Α��儻�の �y本川尻工場の�ﾋ楾筌哀襦璽廛泪諭璽献磧爾砲茲襦嵜振�・プラズマ�\術II」などがある。これらはこのカリキュラムの�k端ではあるが、タイトルと講師�@からだけでも基礎から応��までカバーしている�����気�窺えよう。

「���]�����\術」の柱では、例えば東�Bエレクトロン九�Δ粒�発本�霾…_健作課長と飛田晃�E主��による「メカ・エレキ����・センサー・�U(ku┛)御」、堀場エステックの開発本�靄{(l│n)水哲夫副本�霙垢砲茲襦嵶�?d─ng)��U(ku┛)御�\術・配管�\術」、SMC社�y本営業所の空気圧1級�\��士矢野�x��係長による「空気圧機�_(d│)と空気圧システム」などがあった。�{(l│n)水講師のオン/オフ時に瞬時に動作するマスフローメータの講�Iや、矢野講師のクリーンルーム内でも使��できる発塵を抑えたコンセプトの空気圧システムの講�Iなどは、今でも�Q�_な��(m┬ng)見を��(j┤)唆している。

これに�峙�の九工�j(lu┛)における実�{とエリア社の実�{、��(g┛u)にはロンドアプリウエアサービス社代表�D締役中崎�M��(hu━)の現場改����例講�Iと実�{があり（参考�@料6）、今振り返って見ても��に�|華なプログラムであった。このようなカリキュラムは��に教育のプロと、実��のプロの融合による成果としてできたものと言えよう。筆�v�O身も司会をしながら����(d┛ng)させて頂いたものである。

これからはAI����の���]�\術も教育項�`に

初めて九工�j(lu┛)の施設を見学させて頂いた時に、突��浅野教�bに院�擇��iで何か�Bをするようにと言われた。筆�vは���k線の研�|�vである浅野教�bの�iで半導���\術をお�Bしできる�_(d│)ではないので困惑したが、�mい当時、コンピュータソフトが進んで、以�iこのブログでも紹介した������細書を類��性で分類して解析する�\術（参考�@料7）が�x販され実��化されており、����マップを作る�\術として�R�`されているというネタがあったので、それで冷や汗を流しながらお茶を�Uした思い出がある。今ならAI�\術を使えば何でもない�\術であるが、当時は研�|課��や研�|テーマを��めねばならない研�|�vや研�|所長にとって、この����マップは現�X(ju└)�\術レベル把��(┐i)�}段の�kつとして�L(f┘ng)かせなかったからである。

当時と比較して現在はプロセス�\術も設���\術も、そして現場改���\術にも、レベルの差はあれ、AI関連の�\術が�Dり込まれている。今やその辺の実�z的な教育も含めたカリキュラムが求められていると思う。��に����管理や�攵厙理、そして�W��管理�Cなどの管理�\術の���Cからの教育も、AI�sきにしては語れなくなっている。

実を��かすと、筆�vが80歳まで��めた東�B�j(lu┛)学�j(lu┛)学院工学�U研�|科電気�U工学専��講師を��めた理�y(t┓ng)は、残念ながらAIに関して実��経�xが��くないことを�O覚したからであった��進�t著しいAI�\術をいかに�Dり込んで����していくかが、今後の���]中核人材にも求められる時代が来ている。その�Cを加味した実�z的なカリキュラムとして、どういうものが求められるのかを真剣に考えねばならない時期になっている。

タイトルの「もっと�pけたくなる」という句は、定期的に開かれていた�i記九�γ楼莨噞��性化センターのプロジェクト委�^会で、委�^のお�k人であったNECセミコンダクターズ九�Α��儻�の�y本川尻工場の阿�雜F史工場長が、「このプロジェクトの認��(m┬ng)度はまだ低い。�x伝を��(d┛ng)化したらどうか、例えば『もっと�pけたくなるセミナー』というキャッチフレーズを使ってでも」と発言され、委�^会がどよめいた記憶から、その言を拝借した。もっとも筆�v�O身がこのコラムの�氾辻�集長から「『もっと読みたくなる』記��を書け」とﾗられそうなので、�O��も込めている。

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いつものことであるがこの度も�氾辻�集長にはご�h読頂いた。
また内容が18�Qも�iのことで、筆�vの�}元�@料も少ないため、浅野教�bと柏�vNEDOフェローの御�h閲も賜ったことを記し、深甚な�a�Tを表したい。

参考�@料
1. �j(lu┛)鹿靖��、「九工�j(lu┛)にキオクシア・ラピダス・・・研�T次々 半導����工�� 見られる さわれる 設��〜検�h 実際の機�_(d│)使い」、朝日新聞　経済・総合欄、(2024/05/17)
2. 「平成17�Q度�劜連携���]中核人材育成��業」、
プロジェクト数36は�Q度によって�\��(f┫)がある。但し日本��国�t開の��模を��(m┬ng)る�T味ではこのまま使��してもよいだろう
3. 「浅野�|��教�b」
SUMCOのインタビュー記��も詳しい
4. 「柏�v��弘��(hu━)」
5. 「エリア社」
　同社社長樋口嘉��(hu━)もプロジェクト運営委�^会のメンバーとしてご��躍された
6. 「ロンド・アプリウェアサービス」
「工場管理」��70巻��6��(gu┤)(2024)にて、�y本「ひのくに�O(p┴ng)場」1000人の軌跡として紹介されている。代表�D締役社長は中崎�M��(hu━)
7. �r志田元孝、「類��性で検索するツールと����電子図書館での�~機薄膜����の分析」、セミコンポータル、(2010/04/22)