欧��勢が�T集して2nm��試作ラインを構築する欧�θ焼����噞��性化戦�Sが始動
2nmおよびその先のデバイスの試作ラインを欧�ο�合（EU） 圏に設��して最先端デバイスの設��・開発・試作・応��のエコシステムを構築し、欧�Δ砲�ける半導���噞を��性化する「NanoICプロジェクト」をご�Tじだろうか（参考�@料1）。去る5月下旬に、EU加盟�Q国からNanoIC プロジェクト関係�vがベルギーに集まり、このプロジェクトの�����j会ともいうべき「NanoIC Workshop」が開��され、プロジェクトの��画や進捗�X況が報告された。
NanoIC プロジェクトとは、欧�Ε船奪廛綱 ��盜颪糧焼������]�мq���\金�У襯廛蹈哀薀爐任△�CHIPS法の欧�θ如砲離咼献腑鵑亡陲鼎�、imecのベルギー本社キャンパス内に2nm��の研�|開発・試作ラインを構築し、メンバー企業や�j学、研�|機関の先端半導��チップの試作�p�mを迅�]に行い、欧�Δ寮菽屡焼���エコシステムの��争��を�啣修垢襯廛蹈献Д�トである。
当初のパイロットライン構築のための投�@総�Yは25億ユーロとしており、EUや�Q国���B�У襪僚o的�@金から14億ドル、ASMLはじめ�c間企業の出�@金11億ドルで��う。�o的�@金は、EUの Digital Europe および Horizon Europe プログラムよりChips Joint Undertaking（Chips JU;半導��関連予�Qを管理する官�c共同��）を通して�У襪気譴襦�参加国であるベルギー (科学�\術振興は地�喫�権によりフランダース地�杵��B)、フランス、ドイツ、フィンランド、アイルランド、ルーマニアの�Q���Bも�@金を提供している。
imecが主宰し、研�|開発パートナーとしてCEA-Leti（フランス）、Fraunhofer-Gesellschaft（ドイツ）、VTT（フィンランド）、POLITEHNICA Bucharest、CSSNT （ルーマニア）、Tyndall Institute（アイルランド）が参画し NanoICコンソーシアムを形成している。さらに、欧�Δ�よび世�c中の����・材料・EDAサプライヤ、IDM、ファウンドリ、�j学・研�|機関などが協��している（図1）。
図1 NanoIC ��画への世�c��模の協�����U 出�Z：NanoIC Workshop
��画では、ベルギー・ルーベンのimec本社キャンパス内の、�J�T300mm 研�|開発ラインの�u接地にパイロットラインを2025�Q内に��工し、2027�Qに�A工する予定である（図2）。imecでは、要素�\術開発のためのimec�J�T300mmライン（Fab3 ）ではFOUPを人�}で搬送しているが、新��ライン（Fab4）で、実際にSoCを試作するために搬送にはOHT（Overhead Hoist Transport）を採��し���O動搬送�擬阿鮑涼�し(図3)、2つのライン間はFOUP搬送専��のクリーントンネルで�Tぶ。
図2 NanoIC パイロットライン（imec Fab4）完成予�[図：左奥は、imecタワー（本社管理棟）、その奥に�J�T300mm研�|開発ライン（imec Fab3）がある 出�Z：NanoIC Workshop
図3 NanoIC パイロットライン内�陲陵女[図：imecにとって初めてOHT 搬送システムを導入する 出�Z：NanoIC Workshop
高NA（Numerical Aperture）EUV（Extreme Ultraviolet）リソグラフィ����はじめ100��を��える最新型半導�����]措��を 導入するが、�J�TラインもSoC試作に向けてアップグレードし、そのための新����導入がすでに始まっている（図4）。
図4 imec�J�T300mm研�|開発ラインへの�{加����搬入���◆―儘Z：NanoIC Workshop
�xの谷に橋を架けるプロジェクト
アカデミアでの研�|と�噞�cの商��化・��業化の間には、様々な困�Mな障壁、いわゆる「�xの谷」が�T在するが、NanoICプロジェクトの役割はそこに橋をかけて、��識の集積、imec�\術へのアクセス、半導��エコシステムの協業を通して研�|成果の��業化を�膿覆垢襪海箸任△襪箸いΑ平�5）。
図5 NanoICの役割は�xの谷に�喇wな橋を架けること 出�Z：NanoIC Workshop
imecは今まで主に先端半導��の要素�\術の研�|開発を行ってきたが、NanoIC プロジェクトでは、SoC試作を担当するために、PDK（プロセスデザインキット）を作��してユーザー、つまりSoCを企画・設��する�j学や研�|所や企業に配布する��要がある。PDK開発を担当するのは、imecのDTCO（Design Technology Co-Optimization）プログラムチームで、「N2（いわゆる2nm）のPDKはすでに2024�Q6月にEUコミュニティに提供しており、A14（14Å）のPDKは2025�Q��までに提供する予定である」と述べた（図6）。今後、�\術の成�^度に合わせてPDK改良版の発行を�M��するという。
図6 imecによるプロセスデザインキット（PDK）の提供 出�Z：NanoIC Workshop
NanoICは、2nm��デバイスの����として、HPC（高性�Ε灰鵐團紂璽謄�ング）、ヘルスケア、�O動�Z、AR/VR、�c�據▲┘優襯�ーの6項�`を挙げている（図7）。いくつもの異�|のダイ（チップレット）を集積して3次元実�△卦霆jなシステムを完成させるという(図8）。
図7 2nm��デバイスの����とそれを実現するための6層のプラットフォーム 出�Z：NanoIC Workshop
図8 いくつもの異�|のダイを集積した3次元実�◆―儘Z：NanoIC Workshop
ラピダスの真�瑤呂靴覆�
imecのLuc Van den hove 社長兼CEOは「Nano IC パイロットラインは、欧��勢（�j学、研�|所、企業）のいわばプロトタイピングファウンドリ（試作��の�p�m�攵�ライン）であり、ラピダスのような量��は行わない。パイロットラインの�W���vが試作の�T果に基づき�j量�攵�を行う場合は、�J�Tの�j��模ファウンドリに�攵仿�mする仕組みがすでに確立している」と述べている。imecは日本のToppan同様、TSMCのバリューチェーンアライアンス（VCA）のメンバーであり、TSMCの�o認の独立設��サービスプロバイダとして中小企業や研�|機関のTSMCへの�H���|少量���]委�mの�X口でもあり、世�c中の他の主要ファウンドリとも同様な契約を�Tんでいる。NanoICプロジェクトでは、先端半導��設��人材の育成にも�R��している。
参考�@料
1. �K����、「imecが2nm以下のSoC試作ラインを建設へ、投�@総�Y約4200億��を予定」、マイナビニュースTECH+、(2024/05/22)
