2039鉗に羹けたロジックデバイス腮嘿步ロ〖ドマップ呵糠惹を粕み豺く
ベルギ〖の坤腸呵黎眉染瞥攣甫墊怠簇であるimecは殿る5奉布杰に料惟40件鉗淡前イベント≈ITF∈imec Technology Forum∷World 2024∽をベルギ〖ˇアントワ〖プで倡號した。その答拇怪遍で、票家CEOのLuc Van den hove會∈哭1∷が、ロジックデバイス腮嘿步のロ〖ドマップ2024鉗呵糠惹を券山した。さらに、imecは、EUやベルギ〖ˇフランダ〖ス蠟紹の輸錦垛および癱粗措度の叫獲垛、另馳腆4200帛邊で、2nmおよびそれ笆布のデバイスの活侯ラインを氟肋することを券山した。票家は、染瞥攣妥燎禱窖倡券だけではなく、ロ〖ドマップを極ら悸沮するため、活侯や警翁欄緩まで緘齒ける滔屯である∈徊雇獲瘟1∷。
哭1 答拇怪遍するimec CEOのLuc Van den hove會 叫諾¨ITF World 2024にて僧莢唬逼
imecが糠たに券山したロ〖ドマップには、15鉗黎の2039鉗のSub-A2 ∈いわゆる2Å畝の禱窖ノ〖ド∷の紛茶まで駿り哈まれている(哭2徊救)。倡庚唯NA♂0.75のhyper NA ∈畝光NA∷EUVリソグラフィや2Dチャネル亨瘟やチップの微燙排富丁惦討や山微尉燙への排丹慨規討芹彌などの茶袋弄な禱窖が崔まれている。これらを拒しく斧ていこう。
哭2 imecがITF World 2024にて券山したロジックデバイスの腮嘿步ロ〖ドマップ タイトルは≈ロ〖ドマップを經丸へ橙磨するための聯買昏∽となっている。 叫諾¨imec、2024鉗5奉
トランジスタ菇隴に簇しては、N3 ∈いわゆる3nm禱窖ノ〖ド∷まではFinFETが蝗われるが、2025鉗翁緩倡幌徒年のN2からはシリコンˇナノシ〖トを何脫したGate-All-Around菇隴が瞥掐される∈廟1∷。2031鉗のA7からはnチャネルGAAトランジスタとpチャネルGAAトランジスタ蛤高に姥霖したCMOS菇隴のCFET(陵輸房FET)∈徊雇獲瘟2∷が何脫される。その稿、2D FET(2肌傅亨瘟をチャネル撾拌に何脫したFET∈廟2)はじめ、まったく糠しい亨瘟ˇ菇隴を何脫したFETが判眷する斧哈みである。
また、媽1霖メタルのパタ〖ニングに簇しては、2025鉗までは、NA=0.33のEUV溪各劉彌にてメタルピッチ22nmまでパタ〖ニング、それ笆慣はNA=0.55の光NA EUVに敗乖するとしたほか、メタルピッチ16-12nm笆慣は、殊偽まり你布をもたらすダブルパタ〖ニングを閏けシングルパタ〖ニングを乖うためにはNA=0.75の畝光NA EUVに敗乖する澀妥があるとの斧數を績している。
インタ〖コネクトに簇しては、2025鉗∈N2∷のナノシ〖トからは微燙排富丁惦討を何脫し、山燙の排丹慨規討の腮嘿步を渴める。2031鉗∈A7∷のCFETでは、微燙排富丁惦討に裁えて、排丹慨規討の辦嬸も微燙に敗し、山微尉燙から排丹慨規を帕流する。この收の覺斗を滔及哭で棱湯しよう。
哭3∈懼∷は、驕丸からのインタ〖コネクト芹彌で、排富丁惦討と慨規芹俐討がシリコン答饒婁に寒哼している。哭3∈面∷は、排富丁惦討を微燙に敗瓢させ、山燙は慨規芹俐討だけにする芹彌でトランジスタや芹俐泰刨を懼げることができる。哭3∈布∷は、NチャンネルFETとPチャンネルFETを姥霖したCFET何脫に燃い、微燙排富丁惦討に裁えて、慨規芹俐討の辦嬸も微燙に芹彌し、慨規芹俐討を山微尉燙に芹彌するという菇鱗である。
哭3 インタ〖コネクト芹彌の渴步徒盧 (懼)排富丁惦討と慨規芹俐討がシリコン答饒山燙婁に茄賄された驕丸からの菇隴、∈面∷排富丁惦討をシリコン答饒微燙に芹彌し、山燙婁の慨規芹俐討に泰刨を懼げる菇隴∈2025鉗孩々∷、∈布∷CFETの判眷にともない慨規芹俐討の辦嬸も微燙に芹彌した菇隴∈2031鉗孩々∷ 叫諾¨imec
ASMLは畝光NA EUVリソグラフィ劉彌を倡券面
ITF World 2024では、墓鉗にわたるimecのリソグラフィ甫墊倡券パ〖トナ〖であるASMLの漣家墓敷CTOのMartin van den Brink會が、倡庚眶NA=0.75の畝光NA EUV溪各劉彌を倡券面であることを湯らかにした。
NA=0.75の畝光NA EUVシステムは、Intelが戮家に黎額けて2023鉗瑣に瞥掐したNA=0.55の光NA EUV溪各劉彌の稿費に疤彌づけられるものである。ちなみに、泣塑の 柜忽ラピダスが、丸鉗、籬盒供眷に瞥掐しようとしているEUV リソグラフィ劉彌は、NA♂0.33の驕丸怠である。
哭4 ASMLのEUVリソグラフィ劉彌稱モデルの叫操ロ〖ドマップ 叫諾¨ASML
imecの糠たなロ〖ドマップに鈣炳して、ASMLは、ITF Word 2024で、海稿のEUVリソグラフィ劉彌∈活侯浮皮モデルおよび翁緩モデル∷の叫操ロ〖ドマップを績した∈哭4∷。哭の懼檬は、驕丸の倡庚眶NA=0.33の劉彌の稱モデルの叫操紛茶、面檬が、NA=0.55の光NA EUV劉彌、布檬がNA=0.75の畝光NA EUV劉彌の叫操紛茶である。
笆漣のロ〖ドマップではN3翁緩箕袋が2022鉗だったが悸狠は23鉗
笆懼疽拆したimecのロジック腮嘿步ロ〖ドマップを2鉗漣のロ〖ドマップ∈哭2∷と孺秤してみよう。奠惹∈2022鉗惹∷では、N3の翁緩倡幌は2022鉗になっていたが、悸狠は2023鉗になってしまたため、糠惹では、それ笆慣の紛茶を1鉗稿ずさりさせている。奠惹では、ナノシ〖トGAAとCFETの粗に、A10とA7ではフォ〖クシ〖トGAAが判眷するとしていたが、久えてしまった。糠惹∈2024鉗惹∷では、ナノシ〖トがA10まで變炭するとともに、奠惹では、A5∈2032鉗∷からとなっていたCFETが、糠惹ではA7∈2031鉗∷からと漣泡しになっている。奠惹では、慨規芹俐討の辦嬸を微燙婁に敗す菇鱗もまだ判眷してはいなかった。
このように、ロ〖ドマップは2鉗の粗に屯」な恃構がされている。腮嘿步はますます豈しくなってきているので、海稿15鉗にわたり、腮嘿步の禱窖ノ〖ドが界拇に2鉗ごとに漣渴するのは氦豈と蛔われ、ロ〖ドマップは部刨も餞賴を帆り手す材墻拉が光い∈哭5∷。
哭5 imecがITF World 2022にて券山したロジックデバイスの腮嘿步ロ〖ドマップ タイトルは≈ロ〖ドマップの經丸への橙磨の斧哈み∽となっている。 叫諾¨imec、2024鉗5奉
笆漣、柜狠染瞥攣禱窖ロ〖ドマップ∈ITRS、附哼はIRDSに猖寥∷のシンポジウムで、≈なぜロ〖ドマップは髓鉗構糠するのか∽との柴眷からの劑啼に、把鎊墓が≈染瞥攣禱窖は、1鉗黎さえ賴しく徒盧できない覺斗なので髓鉗餞賴する澀妥があるから∽と批えていたのを蛔い叫した。
ロ〖ドマップはあくまでも搓司を哈めたたたき駱だ。撬蟬弄イノベ〖ションをもたらす、徒盧し評なかったような宦糠なアイデアが判眷し、その悸脫步で糠たな踏丸が麥かれることを袋略したい。
廟堅
1. N2からナノシ〖ト何脫¨これは、TSMCのロ〖ドマップによる。なお、imecは、菠劍孟拌のTSMC Design Alliance ∈TDA∷に回嘆されており、肋紛ル〖ルを鼎奶步している。imecは、菠劍の杠狄がTSMCへ警翁欄緩を把瞞する狠の嶺庚となっており、TSMCとはきわめて科しい。辦數、Samsung Electronicsは、TSMCに黎乖してすでにSF3 ∈imec/TSMCのN3陵碰∷からナノシ〖トを何脫したが、殊偽まり你搪で鵝里した。
2. 2D亨瘟¨蓮敗垛擄∈Transition Metal∷とカルコゲナイド∈Chalcogenide∷の步圭濕である≈蓮敗垛擄ダイカルコゲナイド∈TMD∷∽やグラフェンなどの1×眶付灰霖の∈更みのない2肌傅の∷光敗瓢刨チャネル亨瘟。
徊雇獲瘟
1. 繩嬸擔、≈imecが2nm笆布のSoC活侯ラインを氟肋へ、抨獲另馳腆4200帛邊を徒年∽、マイナビニュ〖スTECH+、(2024/05/22)
2. 速庚木客ほか、≈ロジックテクノロジのロ〖ドマップに判眷した墊端のトランジスタ∝CFET≠∽·マイナビニュ〖スTECH+、(2023/05/11)
