EUV溪各劉彌の泣塑柜柒肋彌に光暗ガス瘦奧恕のカベ々
黎眉染瞥攣倡券および瀾隴に澀寇のEUV溪各禱窖は、ロジックデバイスについては、駱TSMC、躥Samsungともに7nmプロセスから、DRAMに簇しては、Samsung、躥SK hynixとも10-nm駱の4坤洛謄にあたる1α∈あるいは1Aとも鈣ばれる。呵井俐升15nm漣稿といわれている∷DRAMから何脫を幌めている。
辦數、勢Micron Technology は、泣塑恕客のマイクロンメモリジャパン弓噴供眷で坤腸に黎額けて欄緩が幌まった1β DRAMではEUV溪各禱窖の何脫を斧流り、禱窖が澄惟している喇較禱窖である閉炕ArFリソグラフィを脫いたマルチパタ〖ニングの腮嘿步緘恕を何脫している。なじみのフォトレジストやレチクルも蝗えるので、光殊偽りで欄緩できるという。
2024鉗笆慣の惟ち懼げを徒年している1γDRAMについては、MicronもEUVリソグラフィ禱窖を瞥掐する徒年である∈哭1徊救∷。ただし、1γ DRAMを泣塑で呵介に瀾隴するかどうか湯らかにしていない。Micronは、EUV溪各劉彌を泣塑ではなく駱涎灰柴家に黎に掐れて1γ DRAMは駱涎で呵介に欄緩する材墻拉が光いと塑蠱螟莢は斧ている。なぜなら、EUV溪各劉彌の瘦奸瓷妄には屈絡なヒトˇモノˇカネを澀妥としており、駱涎のASML附孟恕客には4500客もの驕度鎊∈廟1∷がいるので、サ〖ビス攣擴が它鏈だからである。おそらく泣塑では2020鉗洛染ば笆慣の1Δ∈デルタ∷ DRAMあたりからEUV溪各劉彌を瞥掐するのではないかと徒鱗される。
哭1 Micron TechnologyのEUVリソグラフィのDRAM翁緩瞥掐紛茶 叫諾¨Micron、2022鉗11奉
11奉11泣に券山された柜忽黎眉ロジックファウンドリであるRapidusも2024鉗瑣にはEUV溪各劉彌を掐緘すると湯らかにして笆丸、泣塑では、海まで痰憋だったEUV溪各劉彌が締に滌各を歪びている。柜忽黎眉染瞥攣甫墊怠簇のLSTCは、Rapidusともども、碰燙は勢IBMやベルギ〖imec疥銅のEUV溪各劉彌を網脫させてもらうようである∈徊雇獲瘟1∷。
EUV溪各劉彌は光暗ガス瘦奧恕の憚擴灤據
殿る11奉16泣に、Micron 弓噴供眷の1β DRAM叫操淡前の及諾が倡號された狠の淡莢柴斧で≈泣塑では光暗ガス簇息の恕圍によりEUVリソグラフィ劉彌の廷掐に俱噬があるとの苯があるが、どのようにとらえているか∽との劑啼がメディアから叫た。これに灤して、Micron TechnologyのSVPでグロ〖バルオペレ〖ション么碰のManish Bhatia會は≈弓噴供眷での經丸弄なEUV瞥掐の材墻拉も斧盔え、光暗ガスのコンポ〖ネントの鏡千に羹け、キ〖サプライヤ〖や泣塑蠟紹に∈憚擴此下に羹けた∷漂きかけをしている∽と批えていた。
この收の禍攫を粕み豺くことにしよう。
EUV溪各劉彌の各富には2つのタイプがある。ASMLが迫貍丁惦するEUV溪各劉彌は、PPL∈Plasma-Produced Laser∷數及の各富を何脫している。ここでは、眶紗丹暗∈眶澆MPa∷に裁暗した光暗光補覺輪のSnタンク∈スズ推達∷からSn閉農を皖布させそこにレ〖ザ〖救紀し券欄したプラズマから13.5nm各を礁各するのだが、この光暗覺輪のスズとその推達∈タンク∷が光暗ガス瘦奧恕の努脫灤據とされ、瀾隴や廷掐や蝗脫に簇して阜しく憚擴されることになる。
PPL數及はすでに悸脫步しているが、各富叫蝸の羹懼に嘎腸が斧えており、經丸の染瞥攣甫墊ˇ瀾隴に灑えて、叼絡裁廬達を脫いたFEL∈Free Electron Laser∷數及のEUV各富∈謄篩叫蝸1kW鎳刨∷が、泣塑では光エネルギ〖甫を面看に急莢が礁まって甫墊が乖われている。こちらは、閉步ヘリウムを武笛寢攣とする武培肋灑が光暗ガス瘦奧恕の憚擴灤據になる。いずれの數及のEUV各富を蝗脫しても經丸にわたり光暗ガス瘦奧恕の憚擴を倘れない覺斗にある。
髓鉗1攙瘦奧浮漢のため劉彌匿賄する澀妥
光暗劉彌は、窗喇箕の浮漢のほか、光暗ガス瘦奧恕に答づく鉗1攙の瘦奧浮漢が盜壇燒けられており、極肩爬浮というわけにはいかず、夢禍、奧鏈瘦奧定柴、回年瘦奧浮漢怠簇、または千年瘦奧浮漢悸卉莢が乖う瘦奧浮漢を減ける澀妥がある。このため、24箕粗365泣蒼漂し魯ける染瞥攣瀾隴劉彌を部泣か匿賄させねばならず、畝光馳劉彌の蒼漂唯の你布をきたすことになる。
螟莢は、冊殿にPlayStationの經丸モデル羹けに呵黎眉腮嘿步パタ〖ンの泡蟬を松賄するために光暗光補畝巫腸覺輪の企煥步煤燎ガスを脫いた≈シリコンウェ〖ハの畝巫腸萎攣麗爵∽の甫墊を乖っていたが、その狠にこのことをいやというほど沸賦した。泣塑の光暗ガス瘦奧恕に潔凋しない勢柜瀾の畝巫腸萎攣劉彌は泣塑に積ち哈めなかったし、泣塑瀾であっても年袋瘦奧浮漢を減けるために甫墊捏啡黎の畝巫腸萎攣劉彌を、髓鉗1降粗にわたり匿賄しなければならなかった。のちに、畝巫腸萎攣の染瞥攣への炳脫に簇する漓嚏今∈鼎螟∷を叫惹した狠に、この禱窖が染瞥攣の翁緩にむけて悸脫步する眷圭の草瑪の辦つとして≈光暗劉彌に簇する憚擴此下∈鉗面痰蒂の染瞥攣瀾隴になじまない憚擴の眶」∷∽と淡揭した∈哭2徊救∷∈徊雇獲瘟2∷。染瞥攣瀾隴劉彌は、ほとんどすべて撅暗か負暗∈靠鄂∷だから、劉彌極咳は光暗瘦奧恕の憚擴を減けないので、このような憚擴は覆哼步してこなかった。
哭2≈染瞥攣ˇMEMSのための畝巫腸萎攣∽のp.108に淡很された染瞥攣瀾隴脫≈光暗劉彌に簇する憚擴此下∽の澀妥拉
弓噴俯はすでに憚擴此下を柜に妥懶
弓噴俯は、2022鉗6奉に簇犯稱臼模に灤する俯の妥司禍灌をまとめて≈吾下5鉗刨卉忽に簇する捏捌∽今を券乖し、その面の≈緩度頂凌蝸の動步〗染瞥攣緩度に灤する毀辯∽の灌で柜∈沸貉緩度臼∷への捏捌禍灌として、≈EUV溪各劉彌を崔む甫墊倡券ˇ欄緩肋灑への抨獲を乖う癱粗措度に灤し,緘更い毀辯を乖うこと∽と事んで≈光暗ガス瘦奧恕霹の憚擴について,柜狠答潔ˇ憚呈を寵脫し,詞燎步ˇ此下を哭ること∽をすでに柜に滇めている(哭3)∈徊雇獲瘟3∷。
光暗ガス瘦奧恕を疥瓷する沸貉緩度臼は、染瞥攣を里維濕獲ととらえて染瞥攣緩度を慷督させる舔謄も么っているので、弓噴俯が妥司しているように鉗面痰蒂で蒼漂する染瞥攣瀾隴になじまない光暗ガス瘦奧恕の憚擴此下を經丸弄には哭る材墻拉はあるだろう。
哭3 弓噴俯≈吾下5鉗刨卉忽に簇する捏捌∽今の35ペ〖ジに非很されている≈染瞥攣緩度に灤する毀辯∽妥懶 叫諾¨弓噴俯模ウェブサイト
票36ペ〖ジには、≈EUV溪各劉彌柜柒瞥掐に羹けた茨董臘灑に腆100帛邊/駱が澀妥である∽との淡揭とともにEUV溪各劉彌瞥掐に羹けたロ〖ドマップさえ很っており、垮燙布でEUV瞥掐にむけた浮皮が俯を刁げて渴んでいることをうかがわせる。メモリでは、Micronの弓噴供眷にまず瞥掐は碰臉として、ロジックでは、TSMCに瞥掐となっているが、閥塑2棚謄を鱗年しているのだろうか、それともこの捏捌今券山稿に賂哼が湯らかになった柜忽ロジックファウンドリのRapidusと粕み侖えるべきなのだろうか。ルネサスは、ひたすらファブライト步を哭っており、JASM∈禍悸懼TSMC閥塑供眷∷にもRapidusにも叫獲の罷蛔を山湯しておらず、計拍家墓は叫獲しない妄統についてもノ〖コメントとしているので、よほどの輸錦垛などのインセンティブない嘎りルネサスへEUV劉彌瞥掐の材墻拉はないだろう。
絡池とはMicronと票じ澎弓噴輝にある弓噴絡池を回すのだろうか。柜忽で關掐するEUV劉彌は、つくばよりは澎弓噴に彌いた數が、Micronと辦斤に瘦奸瓷妄しやすいとの蘭も弓噴俯の緩幢池簇犯莢から使こえてくる。
哭4 弓噴俯が侯喇したEUV溪各劉彌瞥掐に羹けたロ〖ドマップ 叫諾¨弓噴俯模ウェブサイト
廟
1. 2021鉗11奉にASML呵光脊乖勒扦莢∈COO∷F. Schneider-Maunoury會が桉 毖矢駱涎另頗と燙錳して駱涎頌嬸ASMLの糠供眷氟肋を帕えた狠にASML駱涎の驕度鎊眶が4500客を畝えており、供眷驕禍莢をさらに2000客籠鎊すると棱湯した。ASML Taiwanのウェブサイトには驕度鎊眶3600+ と山淡されている。いずれにせよ、驢眶の禱窖莢がEUV溪各劉彌の鉗面痰蒂蒼漂のための瘦奸サ〖ビスに驕禍していることをうかがわせる∈徊雇獲瘟4∷。
徊雇獲瘟
1. 繩嬸擔、≈沸緩臼がEUV禱窖や黎眉プロセス禱窖懲評に羹けimecと捏啡蛤灸∽、マイナビニュ〖スTech+ (2022/11/09)
2. ≈染瞥攣ˇMEMSのための畝巫腸萎攣∽、コロナ家、2012鉗穿
3. ≈染瞥攣緩度に灤する毀辯に簇して柜への捏捌禍灌∽、弓噴俯ホ〖ムペ〖ジ
4. 繩嬸擔、≈駱涎惹CHIPS恕捌が癡的瘋年、 ASMLやMicronが禍度橙絡へ∽、マイナビニュ〖スTech+ (2022/11/24)
