ISSM2018¨AIとIoT寵脫で恃似儈げる染瞥攣瀾隴
染瞥攣瀾隴ˇ欄緩に潑步したユニ〖クな柜狠柴的≈染瞥攣欄緩柜狠シンポジウム(26th International Symposium on Semiconductor Manufacturing; ISSM 2018)∽が候鉗12奉に澎疊旁柒で倡號(hào)された。ISSMは≈染瞥攣瀾隴のノウハウをサイエンスに∽を答塑スタンスに、1992鉗笆丸、髓鉗、染瞥攣欄緩禱窖莢の的俠ˇ蛤萎を奶じて、糠たな染瞥攣欄緩禱窖の碴を伴てると鼎に、染瞥攣欄緩禱窖を彩池する≈糠しい萎れ∽を侯り叫してきた。
ISSM2018柴眷慎肥 (尉柜KFCホ〖ルにて螟莢唬逼)
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海攙は、染瞥攣瀾隴の欄緩拉の羹懼のための≈客供夢(mèng)墻(AI)の寵脫∽に簇する券山が介めて判眷すると票箕に呵絡(luò)のセッションテ〖マとなった。IoT箕洛を忿え、屯」な鹼梧の染瞥攣瀾隴劉彌やプロセス覺(jué)輪の驢逞弄なセンシング禱窖がさらに渴步してきており、染瞥攣供眷では驢眶のセンサで箭礁された絡(luò)翁のデ〖タを胺えるようになった。しかし、碰介はこれらのデ〖タは客緘で驢恃翁豺老し、冉們し、附眷へフィ〖ドバックをかけてきたが、デ〖タ箭礁が黎乖し、デ〖タの銅跟寵脫は澆尸ではなかった。しかし、呵奪、AI禱窖の判眷でIoT禱窖とAI禱窖が突圭し、客緘を拆さないビッグデ〖タの借妄が材墻になり、リアルタイムのプロセス呵努步が材墻になった。これによりプロセス擴(kuò)告拉羹懼、瀾隴殊偽まりの羹懼、肋灑欄緩拉羹懼、獲亨銳你負(fù)寵瓢などに糠たな數(shù)羹拉を斧叫し、光跟唯のスマ〖トファブの悸附が材墻になろうとしている。IoT/AIの納い慎を減けて、染瞥攣瀾隴はダイナミックに恃似を儈げようとしている。
躥SK Hynixも駱TSMCもAI寵脫で染瞥攣瀾隴跟唯步
躥柜SK Hynixは、答拇怪遍の面で、鏈家を刁げてAI∈マシンラ〖ニングやディ〖プラ〖ニング∷を呵絡(luò)嘎に寵脫しスマ〖トファクトリを謄回していることを湯らかにした。
染瞥攣瀾隴附眷では、パタ〖ニング稍紊やプロセス風(fēng)促券欄などの啼瑪が帆り手し判眷しているにもかかわらず、いままでは禱窖莢のスキルと沸賦で腮嘿步プロセスになんとか灤借してきた。しかし、呵奪は、稱(chēng)供鎳が光刨步するとともに、供鎳粗の陵高巴賂拉が剩花步し、プロセスステップ眶が籠えて欄緩サイクルタイムが墓苞くことで、稍紊プロセスを潑年し啼瑪豺瘋するのが豈しくなってきた。もはや禱窖莢の沸賦やスキルに巴賂した帕琵弄な啼瑪豺瘋の數(shù)恕では灤炳できなくなってきた。SK Hynixでは鏈家を刁げてML∈Machine Learning、怠常池漿∷によるプロセス呵努步、ディ〖プラ〖ニングを?qū)櫭摛筏縁DC∈Fault Detection and Classification、風(fēng)促浮叫ˇ尸梧∷、およびセンサとAIを?qū)櫭摛筏縏TTM∈Tool-to-Tool Matching、 怠汗拇臘∷などの姥端寵脫でスマ〖トファクトリを悸附を謄回しているという。≈輝眷の見(jiàn)妥に炳じた努磊なサイズの供眷を氟肋し、AIを?qū)櫭摛筏苿洶劬铯瓮剿墒萱湦蚺皵fし、呵井のインプットで輝眷の見(jiàn)妥に炳じて努磊に灤炳できる欄緩攣擴(kuò)を蛇く∽のが謄篩だという。
駱涎TSMCも痙略怪遍の面で≈フルオ〖トメ〖ションの客緘を拆さないインテリジェントな染瞥攣瀾隴を悸附するためにマシンラ〖ニングをはじめとするAI禱窖の寵脫が風(fēng)かせない∽と揭べていた。辦忍怪遍では、澎疊エレクトロン、澎記ˇ澎記メモリ、ルネサス、話腳少晃奶、ソニ〖、パワ〖チップ、柜惟駱涎絡(luò)池などから染瞥攣プロセスにおけるAI寵脫の惡攣毋鼠桂が陵肌ぎ∈徊雇獲瘟1∷、IoTやAIが帽なるブ〖ムの檬超を畝え、染瞥攣瀾隴尸填でも悸脫步の糙を洪かせようとしていることを悸炊させられた。なお、塑シンポジウム肆片のチュ〖トリアルセッションでセミコンポ〖タル試礁墓の吶拍氟企會(huì)が≈AIの染瞥攣緩度へのインパクト∽と瑪してAI掐嚏ともいえる怪盜を乖った。
AIチップを姥端弄に寵脫してスマ〖トファブを悸附しよう
諱が附舔のISSM俠矢聯(lián)雇把鎊墓を壇めていた1990鉗洛瑣ごろ、寥駿把鎊墓はIntelのMike Splinter會(huì)∈票家瀾隴塑嬸墓、のちにApplied Materials家墓∷だったが、揉はISSMで徊裁莢に羹かって、≈廠さんは、染瞥攣デバイスや劉彌 瀾隴に絡(luò)いに棺弗してはいるが、染瞥攣の網(wǎng)守拉を呵も諜減していない客たちだ。もっと染瞥攣チップを?qū)櫭摛筏瑜Δ扦悉胜い驻雀坤盲皮い郡韦蚧驻そ肖筏俊Ｈ酒硵伨彾趣稀Iチップを?yàn)戨]して杠狄に蝗ってもらうだけではなく、極らも唯黎して寵脫して戮緩度の緘塑となるようなAIベ〖スのSmart Fab/Intelligent Manufacturingを悸附すべきだろう。この爬では菠勢(shì)を面看に長(zhǎng)嘲廓の艱り寥みが黎乖しておりISSM、AEC/APCシンポジウムなどでの泣塑からの券山は、稱(chēng)禱窖莢が么碰する改侍の劉彌やプロセス∈のそのまた辦嬸尸∷へのAI努脫に偽まっている眷圭がほとんどであるが、トップダウンによりファブ鏈攣への鷗倡が司まれる。
IoTとAIの突圭によるAEC/APC∈黎渴弄?jiǎng)洝Ε抓恁互箶U(kuò)告∷の若迢弄、いやむしろ撬蟬弄な渴步で、染瞥攣瀾隴はダイナミックに恃似を儈げる徒炊がしている。肌攙のISSMやその恍隋柴的であるAEC/APCシンポジウム(2019鉗11奉13泣に澎疊で倡號(hào)徒年)が弛しみである。驢眶の劉彌にまたがるAPCやそのファブ鏈攣への鷗倡の喇蔡券山を袋略したい。
徊雇獲瘟
1. 繩嬸擔(dān):≈滌各を礁める染瞥攣瀾隴プロセスの呵努步ˇ欄緩跟唯羹懼に羹けたAI寵脫∽、∈ISSM2018における染瞥攣デバイスˇ瀾隴劉彌メ〖カ〖稱(chēng)家の禱窖券山の柒推疽拆∷
マイナビニュ〖ス、2019.1.10.
