40v`の国際w素子コンファレンス、ベル研から湾へ戻ったSze教bが講演
9月23日から26日の4日間、つくばxの国際会議場で開(h┐o)される国際w素子コンファレンスは40Q`を迎える。この会議は、半導のデバイス、プロセス、材料に関する最先端の情報交換の場となっている。1vが1969Qだから、MOSがようやく日の`を見ようとしているころだ。今v、20Qぶりに参加、D材しようと思う。
(sh━)インテル社が最初のマイクロプロセッサである4004を発したのが1971Qであり、MOS集積v路ビジネスの辰箸發い┐觝△世辰拭9月23日のd待講演には湾の交通j(lu┛)学教bのSimon M. SzeF士がスピーチする。MはSze教bとはk度もC識はないが、j(lu┛)学4Qの時か入社1Q`か記憶がはっきりしないが最初に出会った半導の教科書がSze教bの書かれたPhysics of Semiconductor Devicesだった。このときの本はボロボロになり、10Qほど後に改めてP(gu─n)入したという経緯がある。^真は2番`にP(gu─n)入した本である。

当時Sze教bは、(sh━)国ニュージャージーΕ泪譟璽劵襪砲△辰織戰訶B研|所にされており、\術スタッフとしての肩書でこの本を書いたようだ。この教科書の中ではMOSFETとはいわずIGFET(絶縁ゲート電c効果トランジスタ)と書かれていたが、]晶ディスプレイの~動トランジスタである薄膜シリコンのTFTについても触れられておりその先見性は高いと思う。トランジスタ以外にもガンダイオードやインパットダイオード、レーザーダイオードといった最先端の\術についても触れられており、半導デバイスを(d┛ng)するのにもってこいの教科書だった。Sze教bが今日の半導噞や\術をどうみているのか(r┫n)常に興味深く、講演は今から待ち遠しい。
k般講演はレートニュースを除き、749Pの投Mに瓦靴500Pが採Iされた。j(lu┛)会関係vによると少しiまで投Mb文は(f┫)少向にあったが、最Zは再び\加に転じているという。今v、分野を13にも広げたため投M数が\えたとみている。13の分野は次の通り;
分野1 最新ゲートスタック/Siプロセス\術のサイエンス、
分野2 配線の集積化に向けた性h価と材料\術
分野3 CMOSデバイス/デバイス?ji└)駘?br />
分野4 最新メモリー\術
分野5 最新v路とシステム
分野6 化合馮焼v路、デバイスとデバイス?ji└)駘?br />
分野7 フォトニックデバイスとデバイス?ji└)駘?br />
分野8 最新材料合成とT晶成長\術
分野9 高機材料とデバイスの駘と応
分野10 ~機材料科学、デバイス?ji└)駘および応?br />
分野11 マイクロ/ナノエレクトロニクスとバイオシステム
分野12 スピントロニクスの材料とデバイス
分野13 ナノチューブとナノワイヤーの応
レギュラーb文500Pのうち、口頭発表は339P、ポスター発表は161Pである。採I数を国内・L(zh┌ng)外別でみると、日本からは投M309Pのうち263P採I、L(zh┌ng)外は391P投Mのうち237Pとなっており日本からの採I率は高い。だからといって日本の(sh┫)がレベルは高いとは言えない。同様な向が(sh━)国での学会コンファレンスでも見られたからだ。噞cと学cとでみれば投MP数はj(lu┛)学研|機関が590Pに瓦靴謄瓠璽ー110Pという関係だ。
最Zの向として、L(zh┌ng)外からの投Mや発表が\えてきているという。に、湾、f国、シンガポールからの発表がHい。インターナショナルアドバイザリスタッフはこれまで欧(sh━)中心だったが、湾、f国、シンガポールから今vそれぞれ加わった。
High-k/メタルゲートのMOSFET性からSiGeのナノワイヤー構]をW(w┌ng)するpチャンネルMOSFET、トレンチ構]のSiCパワートランジスタ、w電解をいるB^変化メモリー、マウスのNにmめ込むイメージセンサーなどの発表がある。