図1　IRセンサの�h価キットを�}にするPyreos社CEOのJeffrey Wright��(hu━)

2007�Qに設立、スコットランドのエディンバラ�j(lu┛)学構内に設けられたスコットランドマイクロエレクトロニクスセンター（Scottish Microelectronics Centre：SMC）に本社を��くベンチャーであるが、すでに40社の顧客を�u(p┴ng)ている、と同社CEOのJeffrey Wright��(hu━)は述べる。すでに30もの����ラインを揃えており、狙うべき応��分野も広い。人間や動�颪覆匹鮓―个垢�IRセンサを�擇�し、ジェスチャー�U(ku┛)御、セキュリティ、モーションセンサなどのほか、ガスセンサやスペクトロスコピーなどのセンサ����も揃えている。

このMEMS��(sh┫)式は、�Z�軍亜�0.7μm〜2.5μm）から中�軍亜�2.5μm〜4μm）、遠�軍亜�4μm〜500μm）までカバーできる。����によってそれぞれの�S長�覦茲鮠W(w┌ng)��する。MEMS�\術で加工する薄膜は、PZT（チタン�┘献襯灰����l）�T晶の��電効果を�W(w┌ng)��する。��電効果は�a(b┳)度変化によって電荷を�擇犬襦Ｈ��X��があれば、�a(b┳)度変化を検出し動�颪鮓���(m┬ng)するセンサとして使える。動�颪�30~40℃という�k定の�a(b┳)度を発しているからだ。

��来のPZTは、厚さが100μm��度のセラミック構�]をしており、�H�T晶構�]であり�Xを吸収する��性が�科�ではなかった。また、使う場合に冷却を��要とすることが�Hい。今�vのMEMS構�]は、シリコン基��を�W(w┌ng)��しており、MEMS薄膜の厚さは1μmしかないため�Xを�科�吸収でき、しかも感度が高いという。例えば2チャンネル入��の��電センサの例では感度は150,000V/Wという。厚さ1μmの薄膜はスパッタリング法で作��するが、��来とは違う�T晶相を作り、感度の高い��性を�u(p┴ng)ていると説��する。しかも、薄膜の�U(ku┛)御性は極めてよく、�X検出�_(d│)としては変形がなく、振動にも��(d┛ng)く、ノイズが小さいとしている。このデバイス構�]と���]プロセスに関してPyreosは����を�D�u(p┴ng)している。

�k般にMEMS�\術の��長は、モノリシックに�H数のセンサ�霾�を?y┐n)��]できることである。このため同社の����には単��のセンサから512個のラインセンサ、4×4のエリアセンサなどがある。解�掬戮魑瓩瓩訃豺腓砲魯薀ぅ鵐札鵐気鮖箸ぁ▲好�ャンして画�気鮃柔�する。

図2　FTIR��のセンサはTO-39パッケージ　出�Z：Pyreos

応��分野は広い。�S長�覦茲�広いからだ。例えば、FTIR（フーリエ変換�軍粟�分光光度��）に応��する場合、ZnSeレンズを使い0.7~20μmのフラットな�S長の分光��性を�u(p┴ng)ている(図2)。このシングルセンサチップはTO-39キャンタイプのパッケージに封�Vされている。パッケージのステム（��座）�屬�ICアンプを搭載し、CRのフィードバック�v路を使っている。センサ�陲猟招造魯譽鵐困猟招造汎韻�3.5mm。冷却����なしで-20〜+70℃の�a(b┳)度�J(r┬n)囲で動作できる。このセンサを使えば、��小型のFTIR����ができる。

�噞����での例として、風��発電��タービンのオイルやガスの検出や、�p糖値の�R定やグルコースモニター、石��化学や食��加工などのモニタリングにも使えるとしている。��に、�`舶や飛行機、風��などタービン動��内にあるギアボックスがオイルの劣化や不純�饐�子の混入などによって故障しやすくなるが、中�軍��S長のIRセンサではこういった問��を解��できる。ここでもFTIRのように�������~のスペクトラムを検出することで、混入や変性を��定する。医��関係でも唾�]や尿、�p�]などから異常を検出できる。

同社はベンチャーながら、センサと光源、その他の����を搭載した�h価キットやソフトウエアなどを顧客に提供している。

エディンバラの本社にいる社�^は18�@。SMCにはMEMSの���]試作工場があり、6インチウェーハを使って���]する。ただし、��模はそれほど�j(lu┛)きくないため、量��にはファウンドリを�W(w┌ng)��する。MEMSファウンドリパートナーとして3社、パッケージングパートナーとして4社�eち、����ラインの拡充に�W(w┌ng)��する。中には200万個/週の�攵��ξ�を�eつパッケージングパートナーもいるという。ベンチャーのため���]ラインを拡�j(lu┛)できないが、アウトソーシングを拡�j(lu┛)している。

この�\術は、ドイツのシーメンスのIRセンサ�靆腓��Aい�Dったものだが、当時シーメンスはパワーエレクトロニクスに�R��し始めていた。シーメンスは今でも株主の1社である。今�Qに入り2度�`のファイナンシングを行ったが、今�vは日本の��菱UFJも出�@し、株主となった。売り�屬欧呂泙西�さいが、そのうちの20%は日本�x場から来ており、日本にも�Xい��線を送っている。