旟研を中心としたTIAとフランスのデバイス研|所LETIとの役割分担が確に
フランスの国立研|開発機関のLETIが東BでコンファレンスLETI Dayを開、日本半導噞とLETIとの交流を積極的に進めることを訴えた。その1として2010Q5月にLETIと日本の噞\術総合研|所との間で\術交流を中心としたMOU契約を交わした。共にもう少しj(lu┛)きな組Eとして、旟研はTIA(つくばイノベーションアリーナ)、LETIはBのCEA-DRTとの間でのMOUとなっている。その詳細がらかになった。

図1 LETIの開発拠点のあるMINATECキャンパス
LETI Dayのd待講演の講師として日本の噞\術総合研|所のナノ電子デバイス研|センターの金冑咀}センター長が講演し、LETIのCEOであるLaurent MalierはLETIのミッションについて述べた。旟研はトランジスタレベルのデバイス・プロセスに集中し、LETIはトランジスタを集積したLSIレベルの応研|することに集中しており、両社の提携は互いを完しあいウィン-ウィンの関係になるとしている。
TIAは旟研と・材料研|機構(NIMS)、筑Sj(lu┛)学という3vでナノテクノロジを研|するための共同組Eである。これまで期限きで動していきたSelete(半導先端テクノロジーズ)のクリーンルームを擇しMRする。ここから「噞覦茲鮑遒蟒个靴燭ぁ廚閥はT気込む。ArF]浸リソグラフィとEUVリソグラフィを△┐織リーンルームがあり、300mmウェーハを扱えるプロセス設△發△襦N磴┐45nmCMOSベースプロセスをeっているため試作依頼に官するR&Dファウンドリとしての役割も果たす。
動作電圧0.5V以下のCMOSトランジスタやLSI、メモリーなどプロセス\術を中心の開発を進めている。ウェーハ同士の張り合わせや3DウェーハIC、SiCプロセスなど、これからのシリコンプロセス\術を開発する。同時にカーボンナノチューブ(CNT)や環境に配慮した材料を使うグリーンプロセス、低消J電・再擴Ε┘優襯ー・エネルギーハーベスティングなどのグリーンデバイスなどについても研|する。TIAは国内企業だけではなくL外の企業や研|所とも共同研|、設△龍ζ云W(w┌ng)も推進していくとする。
k(sh┫)のLETIは、噞cに\術を‥召垢襪海箸鬟潺奪轡腑鵑箸靴瞳任欧討い襪燭瓠応研|に集中する。合1600@の研|v(うちプロパー1300@)がフランス・グルノーブルにあるMINATECキャンパスに集まっている。噞cとの共同研|では`的をしっかり定め、サードパーティに瓦靴討魯ープンイノベーション、企業との共同研|に関しては秘密保eを基本とする。企業パートナーのW(w┌ng)益になるようなIPのルールを定めているとしている。
図2 LETIがカバーするこれからの応研|
現在W(w┌ng)可Δ淵瀬屮襯僖拭璽縫鵐阿EUVリソグラフィ、3D集積化\術を使い低消J電のLSIを開発するが、旟研との違いはプロセス・デバイス\術をさらに{及するのではなく、アプリケーションに応じたLSIを開発することにある。このため、プログラマブルロジックチップに要な組み込みソフトウエアを開発したり、マルチコア・マルチスレッドなどの並`処理コンピュータ\術やワイヤレス通信\術を開発したりする。
例えば、ノキアと共同でNFC(Z{(di┐o)`無線)とワイヤレス給電\術の組み合わせにより最j(lu┛)112Mbpsのデータ転送レートを使い、1Gビットメモリーをバッテリなしでアクセスする\術を開発している。医・画欺萢チップも開発中で、がんを検出しEに擇す応研|も行っている。スマートグリッドのシステムに向けたチップの開発、ソーラーシステムのU御、電潮流のU御などに向けた半導チップの研|も始めている。
日本の噞cと長期的で嗄なパートナーシップをTびMしていきたいとMalierはコミットしている。