EUVの動い蹋數、絡叫蝸CO2レ〖ザ〖のダイヤモンド嶺
ダイヤモンド泅遂を倡券しているElement Six家が、樂嘲僑墓10.6µmのCO2レ〖ザ〖を99%譬冊できるダイヤモンド邊饒を倡券面である。このほどPhotonix 2016でその活侯墑を鷗績した。EUVのX俐を侯り叫すCO2レ〖ザ〖の嶺として蝗う。
哭1 Element Six家が倡券した、10.6µm樂嘲各を99%奶すダイヤモンド邊饒
EUVの僑墓13.5nmというX俐は、光補で閉覺に拖けている尖∈スズ∷のドロプレット(閉農)を皖としながら、CO2レ〖ザ〖を救紀することでプラズマ覺輪を侯り叫し、X俐を券欄させることで評る。35×70kWという絡叫蝸のCO2レ〖ザ〖各を奶す嶺が澀妥だった。驕丸はCO2レ〖ザ〖をこの嶺に碰てると昔步して蝗えなくなるため、叫蝸を懼げられなかった。海攙は、譬冊唯が懼がると票箕に昔步しにくくなったため、レ〖ザ〖叫蝸を懼げられるようになった。
35~70kWという絡叫蝸のCO2レ〖ザ〖を99%も譬冊できるようになったのは、レ〖ザ〖を救紀する嶺に漚っている驕丸の瓤紀松賄遂に洛えて、モスアイ(moth eye¨搽の淬)と鈣ばれる瓤紀松賄菇隴を脫いたためである。驕丸の瓤紀松賄遂は、ダイヤモンドよりも錢帕瞥唯が井さいため、券欄した錢がこもりやすく昔步しやすかった。このため、レ〖ザ〖の叫蝸を懼げられなかった。
そこで、ダイヤモンド饒の山燙に瓤紀松賄遂をコ〖ティングするのではなく、モスアイ菇隴にすることで譬冊唯を懼げた。これは、韓妙の淬のように染邊靛の妨に鋪嬸をダイヤモンド山燙に痰眶に妨喇する(哭2)ことで、茫喇した。このモスアイ菇隴はパタ〖ン妨覺をモデリングして妄俠シミュレ〖ションを乖った。また、悸狠の妨覺侯瀾には、リソグラフィとプラズマエッチングを脫いたとしている。
哭2 モスアイ菇隴だと3.5MW/cm2の絡叫蝸レ〖ザ〖でも昔步しない 叫諾¨Element Six
モスアイ菇隴のメリットは絡きい。CO2レ〖ザ〖各を紊く奶すため、ダイヤの嶺での帝箭は警ない。驕丸のコ〖ティングした瓤紀松賄遂は、0.4MW/cm2のレ〖ザ〖パワ〖で遂が祿燼した。このため叫蝸を懼げられない懼に、嶺を裳人に蛤垂しなければならなかった。しかし、海攙の嶺は、各を奶すため祿燼が警ないうえに、ダイヤモンド笆嘲の亨瘟はコ〖ティングされていないため、はがれるという肝俱がないばかりか、檻炭は墓い。哭2では、3.5MW/cm2まで譬冊唯は皖ちていない。檻炭は10擒凱びたとしている。
海稿、睛墑步に羹けて、潑年ユ〖ザ〖と鼎にテストを帆り手し、テクスチャ〖菇隴をファインチュ〖ニングしていく。2016鉗媽4煌染袋の券卿を謄回している。
