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東、NANDフラッシュの微細化にナノインプリント

久しぶりに半導のるいニュースが先週~け巡った。東が、微細化\術としてナノインプリント\術を使ってNANDフラッシュを微細化するというニュースだ。6月3日の日本経済新聞が報じたもの。NANDフラッシュは、クラウドストレージ向けにこれから要性が\し、IoTシステムのk環を形成する。クラウドビジネスがIoTとk緒になりAI(人工Α砲砲茲襯如璽寝鮴呂砲きていく。

日経によると、2017Q度中に東はナノインプリントv路形成\術を使ったNANDフラッシュメモリの攵に乗り出すとしている。極めて微細なハンコのパターンと同じ\術をWするナノインプリント\術は、これまでj日本印刷、キヤノンとk緒に組んで実化を`指してきた。来のリソグラフィ\術よりも低いコストで攵できる可性がある。

これまでのS長193nmのArFレーザーだと、10nmの微細なパターンでは1vのリソグラフィ工でパターニングを2v、3vと繰り返さなければならなくなっている。1vの露光では、これほど細いパターンを形成できないため、例えば10nmの線幅を加工する場合、まず20nmのパターンを切り、それを半分ずらしてもうk度露光する、あるいはセルフアラインメントで半分度に加工する、などの複雑な工を経なければならない。こうなるとリソグラフィコストが峺する。EUVというS長13.5nmのX線リソグラフィ\術ではまだX線の出が不科で、露光に時間がかかってしまう。も高価だ。

これに瓦靴謄淵離ぅ鵐廛螢鵐箸蓮▲魯鵐海里茲Δ縫譽献好箸魏湛していくlだから、}間はかからない。攵掚は屬りコストが下がるようになる。しかし、cき所はゴミなどのパーティクルがくと、使えなくなる点だ。10nmでは`に見えないパーティクルがきやすい。クリーン度のなる向屬Lかせない。

東のナノインプリント\術の導入をpけて、j日本印刷も埼玉県にある嵎<K工場に40億を投じ、ナノインプリントのテンプレート(ハンコ)攵の設△鯑各する、と6日の日経噞新聞が報じた。まず15nmのテンプレートを攵するという。キヤノンは、ナノインプリント\術の]を担い、スループット(1時間当たりのウェーハ処理数)を2018Qまでに来の4倍に引き屬欧襪汎経は報じている。

東が投@をTした背景には、NANDフラッシュ要が咾泙辰討たことがある。パソコンそのものの要は落ちているが、NANDフラッシュを使うモバイルパソコンの要はまだ旺rで、サーバー要がjきい。にクラウド時代には、IoT端からデータを吸い屬押解析し、保Tする要がある。データ量は膨jになり、要は旺rだ。さらに中国ではスマートフォンがj容量化へ転換している、という記を5月31日の日経噞が伝えている。

5月31日の日経にはDellのCEOであるMichael Dellのインタビューが掲載され、その中でDellは、パソコンやサーバーからクラウドへITトレンドが々圓靴討い襪海箸鮖惻~し、データストレージのj}EMCをA収したことや、仮[化\術のVMwareやデータ解析のPivotalをA収した背景にはクラウドの中心\術であることだと述べている。これまでのITが企業のIT靆膰けだったものが、IoTによって]業や金融、医、小売業にも入り込めるようになりつつある。Dellはこういった噞に向け、デジタル業変革を任后クラウドではストレージは_要な\術のkつになる。

IoTやクラウドでのデータ解析にはAIのがR`されている。日立作所は、IoTプラットフォーム「ルマーダ」を~使して社会インフラの効率化мqやの加価値向屬北鯲てると6月2日の日刊工業が伝えた。このルマーダには、ビッグデータ解析、AI、セキュリティで構成され5月から運を開始したという。日立は盜驂x場でスマートグリッド業にAIを、オフィスビルやマンションの電仕様や工場のn働X況、Wtなどのビッグデータを、AIを使って解析、電要の確な見通しを予Rするとしている。

また、住友電気工業は噞\術総合研|所と共同で、サイバーセキュリティ\術を開発すすると6日の日経噞が報じた。4月にU定された旟研連携研|室U度をし、旟研がeつ暗カ\術などをし、住友電工のにかす予定だとしている。このU度は3Q以屬力携のMと1Qあたり1億の負担が条Pだという。

(2016/06/06)
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