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攵掚向屐低コスト化、後工など微細化へシフト始めたセミコンJ

先週は、半導]とその関連材料・などのt会であるセミコンジャパンが開かれた週であり、関係のBがHかったが、]のトレンドはもはや32nmや22nmなどの微細化ではない。いかにコストを下げるか、攵掚を屬欧襪、といった低コスト化\術の(sh┫)向へ向かっている。

セミコンジャパン2009


Z型的な例が、j(lu┛)日本スクリーン]が開発した来の半分という低価格のバッチ式浄CW-1500である。機Δ鮃覆裲oC積を64%削(f┫)した。価格は5000万と、毎Q高機高価格になってきにVめをかけるような動きだ。こういった動きは、日立国際電気にも見られる。「今Qは、新はないが、スループットを屬欧燭發里ある」とt責任vは言う。

コストが限りなく峺してきたi工]の開発よりも後工]に_点を,拘覿箸盡修譴拭アルバックは、後工のウェーハバンピングやボンディングパッドのエッチング後のアッシングLuminous NA-8000を発表した。これまでの65nm向けのアッシングで培ってきた\術を後工にもt開するもので、攵掚を高めながらoC積を小さくし、低価格化を狙った。レジストを化するだけではなく他の残渣を除去するための13.56MHzのRFプラズマと2.45GHzのマイクロSのチャンバも設け、フッ素Uガスを添加するエッチングもできるような機Δrり込んでいる。


アルバック Luminous NA-8000


今Qのセミコンジャパンではニコンやキヤノンがtせず、最j(lu┛)のブースが後工でウェーハからチップを切り出すダイシングソーに伝統があるディスコであったことは、後工に価値をeたせるような(sh┫)向が出てきている(j┫)徴でもある。

セミコンショー以外のBでは相変わらず、パワー関係の記がHい。まず日O動Zが来の2倍の電荷を溜められるリチウムイオン電池の開発にめどをつけ、2015Qまでに1v充電で現在の約2倍にあたる300km走行{(di┐o)`を実現する電気O動Zを`指すと、日本経済新聞が11月30日に伝えている。リチウムイオン電池の充電v数や性Δ鬲める_要な要素のkつが電極材料だ。Liイオンを行き来する電極をいかに劣化させないか、で充電v数はまるため丈夫で長eちする電極材料の開発にQ社xにDり組んでいる。電極が劣化すると電池の内頽B^が高くなり、使v数が(f┫)ってしまう。

東B電と関ナ杜が共同でスマートメーターの実証実xに乗り出すと日経は伝えている。電量の検針をM2M通信モジュール(モデム機Δ瞭った小型の通信機)の無線機で行うことは欧Δ任呂垢任房太咾ある。これは単なる電量の検針だけだが、スマートメーターとなると検針以外にも機Δ鮗{加する。今vの実xでは、検い鵬辰─∋間帯や給X況に応じた電料金、電ピーク時のエアコンU(ku┛)御などの機Δ砲弔い銅泰xするという。

12月4日には菱電機がパワー半導やパワーモジュールの攵に35億を投じ、攵模を2割\やすと報じている。ハイブリッドカーに加え、L外での白餡氾鼎離ぅ鵐弌璽寝修厘要に応じるもので、200mmウェーハのプロセスを(d┛ng)化する。モジュールなどの組み立てラインも\設するとしている。

(2009/12/07)
ごT見・ご感[
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