�Z型的な例が、�j(lu┛)日本スクリーン���]が開発した��来の半分という低価格のバッチ式��浄����CW-1500である。機�Δ鮃覆裲o�C積を64%削��(f┫)した。価格は5000万��と、毎�Q高機��高価格になってき����に���Vめをかけるような動きだ。こういった動きは、日立国際電気にも見られる。「今�Qは、新����はないが、スループットを�屬欧燭發里�ある」と�t��責任�vは言う。

コストが限りなく�峺�してきた�i工�����]����の開発よりも後工�����]����に�_点を�，拘覿箸盡修譴拭�アルバックは、後工��のウェーハバンピングやボンディングパッドのエッチング後のアッシング����Luminous NA-8000を発表した。これまでの65nm向けのアッシング����で培ってきた�\術を後工��にも�t開するもので、�攵掚を高めながら�o�C積を小さくし、低価格化を狙った。レジストを��化するだけではなく他の残渣を除去するための13.56MHzのRFプラズマと2.45GHzのマイクロ�Sのチャンバも設け、フッ素�Uガスを添加するエッチングもできるような機�Δ��rり込んでいる。

今�Qのセミコンジャパンではニコンやキヤノンが�t��せず、最�j(lu┛)のブースが後工��でウェーハからチップを切り出すダイシングソーに伝統があるディスコであったことは、後工��に価値を�eたせるような��(sh┫)向が出てきている��(j┫)徴でもある。

セミコンショー以外の�B��では相変わらず、パワー関係の記��が�Hい。まず日���O動�Zが��来の2倍の電荷を溜められるリチウムイオン電池の開発にめどをつけ、2015�Qまでに1�v充電で現在の約2倍にあたる300km走行�{(di┐o)�`を実現する電気�O動�Zを�`指すと、日本経済新聞が11月30日に伝えている。リチウムイオン電池の充電�v数や性�Δ鬲�める�_要な要素の�kつが電極材料だ。Liイオンを行き来する電極をいかに劣化させないか、で充電�v数は��まるため丈夫で長�eちする電極材料の開発に�Q社���xに�Dり組んでいる。電極が劣化すると電池の内�頽B�^が高くなり、使���v数が��(f┫)ってしまう。

東�B電��と関�ﾅ杜�が共同でスマートメーターの実証実�xに乗り出すと日経は伝えている。電��量の検針をM2M通信モジュール（モデム機�Δ瞭�った小型の通信機）の無線機で行うことは欧�Δ任呂垢任房太咾�ある。これは単なる電��量の検針だけだが、スマートメーターとなると検針以外にも機�Δ鮗{加する。今�vの実�xでは、検�い鵬辰─∋�間帯や��給�X況に応じた電��料金、電��ピーク時のエアコン�U(ku┛)御などの機�Δ砲弔い銅泰xするという。

12月4日には��菱電機がパワー半導��やパワーモジュールの�攵�に35億��を投じ、�攵���模を2割�\やすと報じている。ハイブリッドカーに加え、�L外での白�餡氾鼎離ぅ鵐弌璽寝修厘�要に応じるもので、200mmウェーハのプロセスを��(d┛ng)化する。モジュールなどの組み立てラインも�\設するとしている。