図1　2016�QのMEMSメーカートップランキング　出�Z：Yole Developpement

2016�Qの��長は、RF MEMSメーカーが���Pしたことである。RFに��(d┛ng)いBroadcomだけではなく、スマートフォンに搭載されているRF MEMSメーカーとしてQorvoも5位に入った。かつての��位で、今�v4位のSTMicroelectronicsに肉薄している。

6位のHewlett-Packardと7位のKnowles Electronicsは�i�Qよりも�{�Jマイナスだったが8位のデンソーは�i�Qからプラス成長をした。9位のTDKはやや落としたが、10位Qualcommは�i�Qよりも�Pばした。

RF MEMSはRFの周�S数帯域フィルタに使われ、2017�Qから2022�Qにかけて�Q率平均成長率CAGRが35%になるとYoleは見ている。RFデバイス����のCAGRは14%で成長しているとの予�[から、MEMSの�Pびはひときわ�j(lu┛)きい。

MEMSはこれまで、エアバッグの加�]度センサから始まり、HPに代表されるインクジェットプリンタの印�C(j┤)ヘッドや、Texas Instrumentsの�u�Tなプロジェクタ��のDMD（Digital mirror Device）、iPhoneの登場による加�]度センサやジャイロセンサなどは、�@度が低いものの�W価なMEMSデバイスへと発�tしてきた。MEMS薄膜を�W(w┌ng)��したマイクロフォン、水晶発振�_(d│)に代わるSiTimeのMEMS発振�_(d│)、そして今�vのようなRFフィルタ��のMEMSへと応��は広がってきた。

図2　2017�Qから22�QまでもMEMSの成長は��く　出�Z：Yole Developpement

今後はIoTへの応��を�T識し、これまでのような�@度の低い加�]度センサではなく、もっと高�@度な加�]度センサ、さらにセンサ同士の信��(gu┤)を�Jねるセンサフュージョン（センサハブ）など、MEMSはさまざまなセンサとしての応��がありそうだ。MEMSマイクはこれからも発�tし数量ベースでは11%のCAGRで成長する、とYoleはみている。MEMS����の�x場としては2022�Qまでは�Pび��けると予�Rする（図2）。