MEMSの渴鷗から斧えてくる、これからのMEMS輝眷の弓がり
MEMS∈Micro Electro-Mechanical Systems∷の柜狠柴的≈The 15th MEMS Engineer Forum∽が黎奉、澎疊で倡號された。MEMSデバイスは、裁廬刨センサˇ暗蝸センサからマイクロフォン、RFフィルタ、畝不僑トランスデュ〖サなどさまざまな炳脫に蝗われてきた。菠劍廓は、極瓢賈輝眷やスマホ輝眷などでMEMSデバイスを券鷗させた。肌のMEMSデバイスは部か。
哭1 MEMSデバイスの睛墑がますます弓がっていく 叫諾¨Kurt Petersen
SiTimeの鼎票料度莢であり、MEMS尸填でデバイス倡券を渴めてきたKurt Petersen會は、これまでのMEMSの悟凰を慷り手り、暗蝸センサから幌まって、裁廬刨センサやジャイロなどの捶拉センサ、DLP∈Digital Light Processing∷プロジェクタ、MEMSオシレ〖タなどMEMSデバイスの炳脫が絡きく弓がってきたことを帕えた∈哭1∷。MEMS裁供による腮嘿なマイクロ萎烯は、糠房コロナの殼們で寵迢した。
MEMSデバイスの緩度弄なインパクトは、スマ〖トフォンで瞥掐された裁廬刨センサやマイクロフォンなどだろう。スマホの羹きを恃えると茶燙が90刨恃わったり、殊眶紛の舔充を蔡たしたり、弛しい怠墻を裁えただけではなく、マイクロフォンは不蘭掐蝸だけではなくノイズキャンセラ〖にも脫いられている。AIスピ〖カ〖に鈣び齒けて不蘭で炭吾するにもMEMSマイクが蝗われ、不蘭のビ〖ムフォ〖ミング禱窖で回羹拉を動めることもできている。またDLPプロジェクタはほとんどの鼻茶篡に瞥掐され、海やデジタル鼻嚨が鼻茶腸の撅急になり、芹惦システムにも絡きな逼讀を涂えた。
眶翁の驢いスマホ羹けでは、2015鉗に14帛駱のスマホが叫操され、そこに烹很されたMEMSデバイスは50帛改に茫した。燙球いことに、スマホの叫操駱眶は2022鉗に12帛駱に負警したのにもかかわらず、スマホに烹很されたMEMSデバイスは55帛改と嫡に籠えたのである。糠房のスマホ輝眷はほぼ稅下しているため、2028鉗には叫操駱眶はさらに11帛駱と負警するが、烹很されるMEMSデバイスの叫操眶は56帛改に籠える、と輝眷拇漢柴家のYole Developpementは斧ている。しかもこの眶機にはスマホの光件僑フィルタに蝗うRF MEMSや、デ〖タセンタ〖羹けに賴澄なクロック慨規を流叫するMEMSタイミングデバイスも崔んでいないという。
罷嘲とMEMSデバイスが烹很されているデバイスとして、ワイヤレスイヤホンやスピ〖カ〖であるTWS∈True Wireless Stereo∷デバイスがある。Yoleによると、ワイヤレスイヤホンTWSは2020鉗に3帛改叫操されたが、MEMSデバイスはその4擒の12帛改叫操された∈哭2∷。2028鉗にはTWSイヤホン4帛駱の叫操に灤して、MEMSデバイスの叫操眶は25帛改になると徒盧している。1駱のイヤホンにマイクロフォン2×3改にマイクロスピ〖カ〖、捶拉センサなども很るようになるからだとしている。
哭2 ワイヤレスイヤホンTWSに蝗われているMEMSは驢い 叫諾¨Yole Developpement
MEMSを悸劉するデバイス睛墑の叫操眶が稅下しても、MEMSチップそのものは嫡に籠えていくという附據は極瓢賈緩度と擊ている。極瓢賈緩度では糠賈の叫操駱眶は2000鉗笆慣鏈く凱びていない。しかし極瓢賈に悸劉される染瞥攣の眶は凱びる辦數で、染瞥攣チップの礁姥刨も懼がる辦數になっている。MEMSも礁姥步の數恕は動まっている。MEMSチップをCMOS慨規借妄IC懼に姥霖することが籠えつつある。
MEMSデバイスが欄緩拉紊く瀾隴できるようになった妄統は、シリコンメンブレンを侯るために澀妥な考いエッチング∈Deep Reactive Ion Etching∷が蝗えるようになったことが絡きい。Kurt Petersen會は、庫木にまっすぐエッチングするBoschプロセスを倡券したBoschのFranz Laermer會と、それを悸附するDRIEエッチング劉彌を倡券した交艇籃泰供度の家墓を壇めた坷筆陂會を疚えた∈哭3∷。坷筆會はDRIE劉彌の睛脫步によりIEEE Robert Bosch巨を減巨している。
哭3 Deep RIE禱窖と劉彌の倡券莢Franz Laermer會∈焊∷と坷筆陂會∈寶∷叫諾¨Kurt Petersen
MEMSデバイスの瀾隴を夸渴するSTMicroelectronicsは、pMUT∈暗排マイクロマシン畝不僑トランスデュ〖サ∷デバイスを驕丸のバルクのPZTデバイスから、泅遂のSc∈スカンジウム∷ド〖プのAlN遂を彌き垂えることで瀕の翁を99%近殿するサステナブル禱窖を倡券している。pMUTアレイを菇喇し、畝不僑を券欄しそのToF∈Time of Flight∷から撮千沮や、攣柒寥駿の浮漢に炳脫しようというもの。これからの糠しい炳脫となる。
海稿、50GHz鎳刨までのマイクロ僑スイッチや、板聞羹けに賴澄な淬暗盧年デバイス、2D/3Dの畝不僑を蝗ったイメ〖ジング禱窖などにもMEMSの炳脫が倡けている。バイオやメディカル、ヘルスケアなどの板聞尸填に羹けたMEMS倡券は幌まったばかりだ、とPetersen會は揭べている。MEMSデバイスの炳脫は、これからも偽まるところを夢らない。
