次世代PCCPUを]するIntel最jの後工工場を見てきた!
世cのトップ半導メーカーであるIntelは、盜颯レゴンΔ肇▲螢哨Α▲▲ぅ襯薀鵐鼻▲ぅ好薀┘襪i工工場をeち、オハイオΔ肇疋ぅ弔某靴燭淵侫.屬魴設する。後工ファブはマレーシア、ベトナム、中国(成都)、コスタリカにあり、ポーランドに新たな後工ファブを画している。3D-IC先進パッケージングは、盜颯縫紂璽瓮シコΔ肇泪譟璽轡△捻臣開始している(図1)。

図1 Intelのグローバル]ネットワーク 出Z:Intel
Intelマレーシア工場は、同社にとって最jの後工の攵喤点であり、まもなく登場する予定の次世代クライアントPCプロセッサであるMeteor Lake(コードネーム)の3次元実◆Ε謄好箸鮖呂瓩討り、Intel半導はここから世c中の顧客へ出荷されている。今v、Intelは、ベールに包まれていたマレーシア工場の先端]現場を初めてo開した。筆vは、同工場を訪問する機会をuたので、Intelの半導]戦Sと後工工場の様子を紹介しよう。
「4Q間に5\術ノード実現して見せる」
工場見学に先立ち、Intel セールス&マーケティング業靆VP兼 アジア・パシフィック・日本(APJ)担当ゼネラルマネージャーのSteve Long(スティーブ・ロング)(図2)がIntelの戦Sについて説した。Intelは「4Q間に5\術ノード達成」というT欲的な微細化画をらかにしており、Longは「我々はJに4Qで5\術ノードというT欲的な画のうち、『Intel 7』に関しては2022Qに13世代Coreで出荷を開始しており、『Intel 4』に関してもJに]を開始している。Longは、5\術ノードの2段階`まで完了している」と述べた。Intel4は、今のところ]は、盜颯レゴンΔD1施設だけあり、]にはEUVリソグラフィを使っている。現在、歩里泙蠍崔罎任△蝓△い困賣名ヾ廟茲箸覆襯▲ぅ襯薀鵐氷場ではテストウェーハを流している段階だという。
図2 Intel のT欲的な微細化画を説するSteve Long 筆v撮影
その屬如∈8紊亮画としては「『Intel 4』のバリエーションとなる『Intel 3』を今Qの後半に]を開始、『Intel 20A』とそのバリエーションとなる『Intel 18A』はそれぞれ2024Qi半、2024Q後半に]を開始する」と述べ、今後もi工の]\術の開発をMし、実に]に導入していく、とLongは喞瓦靴討い拭
次に、Longは、「i工のウェーハ]については、内陲任](Intel Foundry Service: IFS)と外陲離侫.Ε鵐疋蠅悗]委mをすることで、コストや効率を最適化していく」と「IDM2.0」の戦Sを説した(図3)。
図3 Intel の「IDM2.0戦S」 出Z:Intel
実、「Intel4」プロセス採のMeteor LakeのCPUタイル(チップレットのIntel独Oの}称)と22nmベースチップはIntelだが、GPUチップレットはTSMCに]委mし、N5(いわゆる5nm)プロセス採、SoCとI/OタイルはTSMC N6という差腓任△襦平4,5)。
図4 次世代クライアントPCプロセッサMeteor Lakeのタイル搭載X況(イメージ図):`脂基屬離泪供璽船奪屬4個のチップレットが搭載されている 出Z:Intel
図5 専トレイに並んだMeteor Lake の完成 出Z:Intel
Intel マレーシアは業^15,000人の巨j工場
次に、Intel ]・サプライチェーン・運営担当 VP兼 Intel Malaysia工場長兼Intelアセンブリ・テストマニュファクチャリング(ATM)グループシステムインテグレーション&マニュファクチャリングサービス(SIMS)運営ゼネラルマネージャーのAK ChangがIntelの後工およびマレーシア工場について説した。
マレーシア工場には、ペナンと幹澆離リムに2つのキャンパスがT在するが、ペナン・キャンパスはIntelが51Qiの1972Q(Intel設立の4Q後)に開設したIntel初のL外業所である「A1」サイト(当初の業^100人)がベースになっている。それから51Q経圓掘▲泪譟璽轡工場は、業^15000人、敷地C積9万平汽侫ートの巨j工場に発tした(図6)。
図6 Intel マレーシア工場の説をするAK Chang工場長 筆v撮影
ペナン・キャンパスでは先進パッケージング施設(コード@Pelican)、クリム・キャンパスでは新たなテスト施設(コード@Falcon)の工が進んでおり、今後10Q間に300億リンギット(約9500億)を投@し、国内で4000人以屬Intelによる直接雇と、5000人以屬旅場建設関係の雇が創出されると見込まれるという(図7)。
図7 マレーシアのペナンで建設が進むインテル先進3D-ICパッケージング施設 筆v撮影
Changによれば、マレーシア工場では、垉10Q間に12億個のチップの組立・検hを担当し、500|類以屬離謄好拭璽棔璽匹鮹いて2020Q以T、約5億個のダイソートを行ったという。
Intel マレーシアのQ施設とその役割を(A)先進パッケージング専棟(建設中)、(B)ダイ◆淵瀬ぅ轡鵐亜砲よびソート(ダイXでのテスト)、(C)アセンブリおよび最終テスト、(D)ボードおよびシステム集積ツール]に分けてQ施設と官けて図8にした。
図8 Intelマレーシア工場の貌 A: ペナン・キャンパスに建設中の先進パケージング施設(コード@:Pelican)、B: クリム・キャンパスでのダイシング・ダイソート(検hによる別)工、C: ペナン・クリム両キャンパスでのアッセンブリ・テスト工およびクリム・キャンパスに建設中のアッセンブリ・テスト施設(コード@:Falcon)、D: クリム・キャンパスでのシステムインテグレーション&マニュファクチャリングサービス 出Z:Intel提供
次vは、今まで社外秘だったクリーンルーム内陲陵融劼鮠匆陲靴茲Α