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AEC/APC Symposium Asia 2025

チュートリアルスピーカー

藤澤 克樹
藤澤 克樹
東京科学大学 総合研究院・教授
Biography

1998年3月 東京工業大学大学院 情報理工学研究科 博士課程修了 : 博士(理学)
1998年4月 から 京都大学、東京電機大学、中央大学、九州大学を経て、現在は東京科学大学 総合研究院 教授 及び 米企業 PGR 社CTO などを兼任.
専門は数理最適化、グラフ解析、深層学習、高性能計算及び産業アプリケーションの創出であり, 多くの民間企業とデジタルツイン技術の開発と応用に取り組んでいる. 文部科学大臣表彰科学技術賞 (研究部門) や Graph500 ベンチマーク世界1位 (通算 20 期) などの多くの受賞歴を持つ.

Presentation

サイバーフィジカルシステムの実現と産業応用のための数理および情報技術

最新の数理・情報技術を活用することによってサイバーテフィジカルシステムの構築を行い、都市や地域及び産業界の抱える諸課題の解決を推進していく、産学連携の試みが各分野で推進されている。 本講演では現在推進中のスマート工場構築プロジェクトフを題材として、工場における生産性、信頼性及び安全性向上のためのアプリケーション開発、さらにヒト・モノのモビリティに関する最適化モデルと具体的な産業応用についての解説を行う。


茂木 弘典
茂木 弘典
東京エレクトロン株式会社 コーポレート技術本部 革新技術開発センター 装置インテリジェンス開発部 部長
Biography

2000年、東京エレクトロン札幌にソフトウェア・エンジニアとして入社し半導体製造装置制御ソフトウェア開発に従事。2011年から機械学習の導入プロジェクトに参画。社内向け解析ツールの開発、予測モデルを用いた異常検知、プロセス制御などの装置システムを開発。2020年、東京エレクトロン宮城に異動し、プロセス開発のDX化推進プロジェクトを牽引。2024年、東京エレクトロンに帰任。装置インテリジェンス化にかかわる開発をリード。

Presentation

半導体製造におけるプロセスインフォマティクス

近年のAI技術の発展は目覚ましく、生成AIのように我々の生活の中でも当たり前のように活用されるようになってきました。本講演では、半導体製造プロセスにおけるAI技術の適用にフォーカスし、事例紹介とともに、半導体製造プロセスにおけるプロセスインフォマティクスの適用事例の紹介、プロセスインフォマティクスを実現するための技術である機械学習および最適化技術について解説します。

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